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M5525100－1/UM型大角度离子注入机:M5525100－1/UM 型大角度离子注入机可满足100 纳米，8 英寸集成电路制造工艺的要求，适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入，可获得良好的注入均匀性、重复性。M5525100－1/UM 型大角度离子注入机突破了离子注入机设计与制造的关键技术，在离子注入机的总体设计与集成、自动化与可靠性设计等核心技术上取得突破。整机包括束线系统、电源系统、靶室系统、辅助系统、控制系统等五大系统。
该设备实现了全自动智能控制及晶片自动传输控制，采用单圆片传送系统及静电夹持技
术，可实现大角度(0～60°)和零角度注入功能；使用长寿命离子源，大大提高了设备正常
运行时间；对注入束的均匀性和剂量实时监控； 整机配备SMIF 系统，具备适应大生产线的生产效率和高可靠性，完全可替代同类进口设备。
该设备实现了全自动智能控制及晶片自动传输控制，采用单圆片传送系统及静电夹持技
术，可实现大角度(0～60°)和零角度注入功能；使用长寿命离子源，大大提高了设备正常
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