Flexfilm文章

• 白光色散干涉：实现薄膜表面轮廓和膜厚的高精度测量2025-07-22 09:53

  

  薄膜结构在半导体制造中扮演着至关重要的角色，广泛应用于微电子器件、光学涂层、传感器等领域。随着半导体技术的不断进步，对薄膜结构的检测精度和效率提出了更高的要求。传统的检测方法，如椭圆偏振法、反射法和白光扫描干涉法等，虽然在一定程度上能够满足测量需求，但存在一些局限性。针对这些现有技术的不足，本文提出了一种基于白光色散干涉法（WLDI）的高精度测量系统。该系统

  测量 表面轮廓仪 2174浏览量

• 台阶高度的测量标准丨在台阶仪校准下半导体金属镀层实现测量误差<1%2025-07-22 09:53

  

  在半导体芯片制造过程中，台阶结构的精确测量至关重要，通常采用白光干涉仪或步进仪等非接触式测量设备进行监控。然而，SiO₂/Si台阶高度标准在测量中存在的问题显著影响了测量精度。传统标准的上表面（SiO₂）和下表面（Si）的折射率（n）和消光系数（k）差异导致了反射光的干涉相消现象，进而影响白光干涉仪的测量结果。为解决这一问题，本研究结合半导体溅射工艺，提出在

  半导体 测量 1219浏览量

• 薄膜质量关键 | 半导体/显示器件制造中薄膜厚度测量新方案2025-07-22 09:53

  

  在半导体和显示器件制造中，薄膜与基底的厚度精度直接影响器件性能。现有的测量技术包括光谱椭偏仪（SE）和光谱反射仪（SR）用于薄膜厚度的测量，以及低相干干涉法（LCI）、彩色共焦显微镜（CCM）和光谱域干涉法（SDI）用于基板厚度的测量。本研究提出SR-SDI集成光学系统，通过可见光反射谱与近红外干涉谱的协同处理，实现跨尺度同步厚度测量，并开发模型化干涉分析算

  半导体 显示器件 测量 2083浏览量

• 传输线法（TLM）优化接触电阻：实现薄膜晶体管电气性能优化2025-07-22 09:53

  

  本文通过传输线方法（TLM）研究了不同电极材料（Ti、Al、Ag）对非晶Si-Zn-Sn-O（a-SZTO）薄膜晶体管（TFT）电气性能的影响，通过TLM接触电阻测试仪提取了TFT的总电阻（RT）和接触电阻（RC），结合电学表征和能带分析，发现Ti电极因形成欧姆接触且功函数差最小，显著提升了迁移率和亚阈值摆幅等关键参数。1实验设计与制备flexfilm(a)

  TLM 接触电阻 晶体管 2185浏览量

• 触针式轮廓仪 | 台阶仪 | 纳米级多台阶高度的精准测量2025-07-22 09:52

  

  台阶高度作为纳米结构的关键参数，其测量精度直接影响相关研究与应用。本文利用触针式轮廓仪对三台阶高度样品进行测量与表征的方法。原始测量数据通过多项式拟合与低通滤波处理消除低频伪影和高频噪声。实现了纳米级三台阶高度样本（8nm/18nm/26nm）的高精度测量。并应用于薄膜沉积速率的计算与验证，结果显示轮廓仪与光谱椭偏仪的沉积速率测量结果一致。1触针轮廓仪测量f

  测量 表面轮廓仪 高精度 1130浏览量

• 四探针法精准表征电阻率与接触电阻 | 实现Mo/NbN低温超导薄膜电阻器2025-07-22 09:52

  

  低温薄膜电阻器作为超导集成电路的核心元件，其核心挑战在于实现超导材料NbN与金属电阻层Mo间的低接触电阻（R₀）。本文使用四探针法研究钼（Mo）为电阻材料，利用其低电阻率和优异工艺重复性，通过NbN表面氩离子清洗活化及铝（Al）绷带层技术显著降低界面接触电阻，为NbN基超导器件提供可靠解决方案。电阻特性通过使用Xfilm埃利四探针方阻仪在2.5–300K温区

  接触电阻 电阻器 集成电路 1019浏览量

• 接触式表面轮廓测量仪校准方法比较分析2025-07-22 09:52

  

  接触（触针）式表面轮廓测量仪广泛应用于机械加工、精密制造等领域，用于测量零件的轮廓尺寸、曲率半径、直线度等参数。本文旨在比较《JJF（闽）1043—2011〈接触（触针）式表面轮廓测量仪校准规范〉》《JJF（冀）3012—2021〈触针式表面轮廓测量仪校准规范〉》这两种校准方法的差异，Flexfilm台阶仪可以验证其有效性，为仪器校准提供技术参考。轮廓仪的基

  测量仪 轮廓测量仪 1229浏览量

• 接触电阻与传输线法TLM技术深度解密：从理论到实操，快速掌握精准测量核心2025-07-22 09:52

  

  Flexfilm专注于电阻/方阻及薄膜电阻检测领域的创新研发与技术突破，致力于为全球集成电路和光伏产业提供高精度、高效率的量检测解决方案。公司以核心技术为驱动，深耕半导体量测装备及光伏电池电阻检测系统的研发。在半导体以及光伏器件制造中，接触电阻的精确测量是优化器件性能的关键。本文结合专业文献深入解析接触电阻的测量原理及TLM技术，并通过实例演示如何计算关键参

  半导体 接触电阻 检测 3302浏览量

• 光伏建筑一体化BIPV：透射率与光伏发电效率的应用研究2025-07-22 09:52

  

  本研究针对传统玻璃难以平衡采光与能源性能的问题，开发了一种多目标优化框架，用于设计半透明建筑集成光伏（ST-BIPV）玻璃。以武汉某大学办公室为案例，建立参数化模型控制光伏玻璃的面积分布、透光率等关键变量，通过仿真评估采光充足度（sDA）、眩光空间自主率（sGA）和光伏发电效率（EP_e）并寻找帕累托最优解。最后采用K-means聚类算法对结果进行分析。Fl

  bipv 光伏 光伏发电 2767浏览量

• 四探针法丨导电薄膜薄层电阻的精确测量、性能验证与创新应用2025-07-22 09:52

  

  薄层电阻（SheetResistance,Rs）是表征导电薄膜性能的关键参数，直接影响柔性电子、透明电极及半导体器件的性能。四探针法以其高精度和可靠性成为标准测量技术，尤其适用于纳米级薄膜表征。本文系统探讨四探针法的测量原理、优化策略及其在新型导电薄膜研究中的应用，并结合FlexFilm在半导体量测装备及光伏电池电阻检测系统的技术积累，为薄膜电学性能的精确测

  电阻 精确测量 薄膜 1683浏览量