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• 发布了文章 2025-08-26 13:42

  洁净工作台尘埃粒子标准是多少

  

  洁净工作台的尘埃粒子标准因应用场景和行业规范而异，以下是不同洁净级别的具体要求：百级洁净度≥0.5μm的尘埃粒子数：应≤3,500,000个/立方米；≥5μm的尘埃粒子数：应≤20,000个/立方米。适用领域：半导体制造中的光刻、蚀刻等关键工艺环节，以及生物制药领域的无菌药品灌装与分装操作。该级别要求极高的空气纯净度，以避免微小颗粒对精密元件或药品造成污染。

  半导体制造 洁净器

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• 发布了文章 2025-08-26 13:34

  标准清洗液sc1成分是什么

  

  标准清洗液SC-1是半导体制造中常用的湿法清洗试剂，其核心成分包括以下三种化学物质：氨水（NH₄OH）：作为碱性溶液提供氢氧根离子（OH⁻），使清洗液呈弱碱性环境。它能够轻微腐蚀硅片表面的氧化层，并通过电化学作用使颗粒与基底脱离；同时增强对有机物的溶解能力124。过氧化氢（H₂O₂）：一种强氧化剂，可将碳化硅表面的颗粒和有机物氧化为水溶性化合物，便于后续冲洗

  半导体制造 湿法

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• 发布了文章 2025-08-25 16:43

  半导体清洗选型原则是什么

  

  半导体清洗设备的选型是一个复杂的过程，需综合考虑多方面因素以确保清洗效果、效率与兼容性。以下是关键原则及实施要点：污染物特性适配性污染物类型识别：根据目标污染物的种类（如颗粒物、有机物、金属离子或氧化层）选择对应的清洗方式。例如，RCA法中的SC-1溶液擅长去除颗粒和有机残留，而稀HF则用于精确蚀刻二氧化硅层。对于顽固碳沉积物，可能需要采用高温Piranha

  清洗设备

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• 发布了文章 2025-08-25 16:40

  如何选择合适的湿法清洗设备

  

  选择合适的湿法清洗设备需要综合评估多个技术指标和实际需求，以下是关键考量因素及实施建议：1.清洗对象特性匹配材料兼容性是首要原则。不同半导体基材（硅片、化合物晶体或先进封装材料）对化学试剂的耐受性差异显著。例如，砷化镓等化合物半导体易被强酸腐蚀，需选用pH值中性的特殊配方清洗液；而标准硅基芯片可承受更高浓度的碱性溶液。设备内腔材质必须满足抗腐蚀性要求，通常采

  清洗设备 湿法

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• 发布了文章 2025-08-20 13:35

  去离子水冲洗的正确方法

  

  去离子水冲洗是半导体、微电子等领域的关键工艺步骤，其正确操作直接影响产品的洁净度和性能。以下是标准化流程及注意事项：一、前期准备设备检查与校准确保去离子水系统的电阻率≥18MΩ·cm（符合ASTMD5127标准），定期检测水质避免离子污染。确认冲洗设备的喷嘴无堵塞或泄漏，压力稳定在设定范围内（通常0.2–0.5MPa）。若使用自动化机械臂或旋转台，需提前调试

  半导体 电子元件

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• 发布了文章 2025-08-20 12:00

  半导体清洗机如何优化清洗效果

  

  一、工艺参数精细化调控1.化学配方动态适配根据污染物类型（有机物/金属离子/颗粒物）设计阶梯式清洗方案。例如：去除光刻胶残留时采用SC1配方（H₂O₂:NH₄OH=1:1），配合60℃恒温增强氧化分解效率；清除重金属污染则使用SC2槽（HCl:H₂O₂=3:1），利用氯离子络合作用实现选择性蚀刻。引入在线电导率监测装置，实时修正化学液浓度波动，确保不同批次间

  清洗设备

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• 发布了文章 2025-08-19 11:40

  半导体行业中清洗芯片晶圆陶瓷片硅片方法一览

  

  在半导体行业中，清洗芯片晶圆、陶瓷片和硅片是确保器件性能与良率的关键步骤。以下是常用的清洗方法及其技术要点：物理清洗法超声波清洗：利用高频声波在液体中产生的空化效应破坏颗粒与表面的结合力，使污染物脱落。适用于去除大颗粒及松散附着物13；兆声波清洗（MegasonicCleaning）：相比传统超声波频率更高，能更高效地清除亚微米级颗粒且不损伤表面3；刷洗与喷

  半导体

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• 发布了文章 2025-08-19 11:33

  晶圆清洗后的干燥方式

  

  晶圆清洗后的干燥是半导体制造中的关键步骤，其核心目标是在不损伤材料的前提下实现快速、均匀且无污染的脱水过程。以下是主要干燥方式及其技术特点：1.旋转甩干（SpinDrying）原理：将清洗后的晶圆置于高速旋转平台上，通过离心力使表面液体向边缘甩出，形成薄液膜后进一步蒸发。此过程通常结合温控系统加速水分挥发。优势：操作简单高效，适用于大多数标准尺寸的硅片；可精

  半导体制造 半导体晶圆

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• 发布了产品 2025-08-18 16:45

  rca槽式清洗机 芯矽科技

  

  产品型号：rcacsqxj 非标定制：根据客户需求定制

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• 发布了产品 2025-08-18 16:40

  自动槽式清洗机 芯矽科技

  

  产品型号：zdvsqxj 非标定制：根据客户需求定制

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