ASML光刻机进驻粤芯半导体 为其量产计划提供有力保障

近日，智光电气在互动平台表示，广州粤芯半导体公司采购的是荷兰ASML的***，已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房，目前在做量产前的最后调试准备。

***等主设备的顺利进驻，将为粤芯半导体量产计划提供了有力保障。

此外，智光电气还在互动平台表示，粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。

据悉，粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM为营运策略的12英寸芯片厂，是广州第一条12英寸芯片生产线，已列为广东省、广州市重点建设项目。该项目于2018年3月开始打桩，2018年10月按原计划完成主厂房封顶。项目在达产后，可实现月产4万片12英寸晶圆的生产能力。粤芯半导体产品包括微处理器、电源管理芯片、模拟芯片、功率分立器件等，能满足物联网、汽车电子、人工智能、5G等创新应用的模拟芯片需求。

据广东卫视最新报道，如今粤芯半导体首条生产线已进入最后的调试阶段，即将在6月投片、9月量产。