粤芯半导体设备进厂 将成为国内本土首条量产的12英寸特色工艺产线

昨日，业界传闻数台载着半导体设备的物流车进入广州粤芯半导体技术有限公司（以下简称“粤芯半导体”）的园区，其中一台车身印着ASML的车尤为亮眼。

业界猜测粤芯半导体这是设备进厂了。果不其然，今天（3月15日）粤芯半导体在广州正式举行了设备搬入仪式，这意味着粤芯半导体离量产更进一步。

官方信息显示，粤芯半导体成立于2017年12月，是国内第一座以虚拟IDM （Virtual IDM） 为营运策略的12英寸芯片厂，也是广州第一条12英寸芯片生产线，项目总投资70亿元，新建厂房及配套设施共占地14万平方米。

根据规划，粤芯半导体项目建成达产后将实现月产40000片12英寸晶圆的生产能力，产品包括微处理器、电源管理芯片、模拟芯片、功率分立器件等，满足物联网、汽车电子/车联网、人工智能、5G等创新应用的模拟芯片需求。

该项目于2017年12月27日举行奠基仪式，2018年3月5日正式开工建设，2018年10月11日主厂房封顶，根据此前规划的进度，该项目将于今年3月迎来设备进厂与调试，接下来是生产线的调通、高良率wafer的产出等各关键性节点，目前看来项目正在按计划进行。

对于晶圆代工厂而言，设备进厂即意味着量产提上日程，一般情况下设备进厂后大概2~3个季度可量产，媒体此前报道称，粤芯半导体预计今年第四季度可进行小批量量产。事实上，工程进展似乎比预想中顺利，今天粤芯半导体表示项目将于今年6月投片、9月15日开始进行量产。

作为国内第一座虚拟IDM 12英寸晶圆厂，随着其设备搬入、量产在即，粤芯半导体很有可能将会成为国内本土首条量产的12英寸特色工艺产线，对国内进一步探索VIDM模式亦将起到积极意义。