微型化突破！MEMS超声波气体流量传感器引领精密测量新时代

在工业制造、能源计量及医疗设备等领域，气体流量的精确测量对过程控制、能效管理和安全运行具有重要意义。传统流量传感技术易受机械振动、温度变化等环境干扰，且在极小流量或低速流态下的测量精度与稳定性存在局限。

此外，随着设备小型化与集成化需求的提升，传统传感器难以在有限空间内实现高精度与高稳定性的流量计量。

MEMS微型化

结构高度集成的技术基石

如下表所示，“MEMS+超声波”强强联合，相对其他类型流量传感器具有明显优势。

在此背景下，利用先进MEMS技术的奥迪威超声波气体流量传感器应运而生，产品的核心突破源于MEMS工艺的深度应用实现了传感器单元的极致微型化与高度集成。

MEMS超声波气体流量传感器

体积缩小超过190倍:

传感器尺寸仅为2.8x2.8x1mm(体积约7.84 mm3)，相较常规超声波传感器典型直径16 mm、高度12 mm，体积超1500 mm)，体积缩小超过190倍:这种超微型化设计，完美契合智能燃气表、便携式检测设备及嵌入式仪器对空间敏感场景的严苛需求。

与PCB集成一体:

MEMS工艺保证了传感器核心元件的一致性与可重复性，为大规模部署提供了可靠基础;产品可与PCB集成一体，同时显著降低了生产成本与能耗。

MEMS超声波气体流量传感器与PCB集成参考效果图

dTOF测量法

实现无干扰精确计量

本技术采用超声波飞行时间差(dTOF)原理，通过测量声波在气流中顺流与逆流传播的时间差，直接计算气体流速，从根本上避免了机械式仪表的磨损与漂移问题。

无活动部件，保真保准:

dTOF法为间接测量，无需活动部件，确保流道完全畅通，不改变流场分布，从而维持原始流动状态的真实性。

不受气体成分、浓度影响:

测量过程精度不受气体成分、浓度变化影响，适用于多种气体介质(如天然气、燃气、氢气、其他特殊气体等)，保证数据的广泛适用性与稳定性。

450kHz高频与号筒设计

赋能微流量感知

在微型化基础上，产品通过450kHz谐振频率与专用号筒结构的结合，实现了微流量场景下的卓越性能。

捕捉纳秒级别声波相位变化:

450kHz高频发射产生短波长声波，对低速流场中的微小涡流与动量变化高度敏感，可精确捕捉低至纳秒级别的声波相位变化，为气体泄漏诊断提供可靠数据基础。

特殊设计实现高信噪比:

通过集束号筒对声波聚焦与视场约束，在空气介质中仅需放大30dB增益即可实现全幅值输出，这一设计大幅提升信噪比，尤其适用于及小管径(DN15以下)环境，解决了传统传感器在低流量下信号衰减的痛点。

应用场景
引领精密测量新时代

超声波燃气表

实现高精度、长寿命的居民与工业燃气计量，具备抗振动、防篡改及低功耗等优势。

医疗设备气体流量监测

适用于呼吸机、麻醉机等医疗设备中气体流量的稳定、无菌与可靠测量。

工业制造气体计量

在化工、半导体等行业中，用于过程气体、特种气体及排放气体的精确监测与控制。