Coherent Astrella助力实现25-50 nm超快相干EUV

Coherent Astrella® 超快放大器与 KMLabs XUUS4™ 高次谐波发生系统相结合，可提供稳定、高质量的相干 EUV 光，光子能量范围在 25-50 eV 之间，光通量水平可满足一系列科学应用的需要。

激光器的发明彻底改变了近几十年来科学技术的面貌。与此类似，最近开发的波长大幅缩短的桌面级相干激光源、EUV 和软 X 射线也可能会对需要在这些短波长下具有类似激光性能的科学和技术应用产生变革性影响。相干 EUV 是通过高峰值功率超快激光器驱动的高次谐波发生 (HHG) 过程产生的。HHG 光源的应用包括 EUV 平版印刷术、光谱学、显微镜以及分子级磁性材料、和纳米系统的动态研究。根据应用要求，HHG 光源特性可以进行定制，以获得高达 30 meV/0.1 nm 的阿秒时间分辨率或能量/光谱分辨率，或实现空间分辨率高达 12 nm 的相干成像。

在 HHG 过程中，强飞秒激光聚焦到气体介质中，气体就会在场电离过程中会产生高次谐波。然而，优化实现 HHG 源并不意味着只需将光聚焦到气体射流或气室中即可：转换为 EUV 的效率取决于多个参数，并且可能存在几个数量级的变化。在早期的实验中，目标只是观察高次谐波的产生，这种优化(相位匹配)并非关键因素。但随着这些光源被用于更具挑战性的现实应用中，实现尽可能高的通量对于成功而言越来越重要。过去，科学家常常仅仅花费 1-3 年的时间就能实现一种光源。即便如此，在 EUV 中进行通量测量仍然很困难且容易出错，导致光源可能未经过优化且功率不足，从而阻碍了所需应用的成功。成功实施基于 HHG 的 EUV 光源需要采用全面的方法来简化通量和光谱测量，并实现可靠的 EUV 通量规格。

KMLabs 开发了通过空心波导中的相位匹配转换来提高 EUV 生成效率的技术，并在其商用 XUUS4™ 产品中进一步优化了该技术。主力 HHG“桌面 X 射线激光”系统的三个关键要素是：(1) 强大的高平均功率、高重复率飞秒驱动激光器;(2) 用于产生高次谐波的优化实施差动泵浦气体靶几何结构;(3) EUV 传输系统，旨在最大限度减少损失并管理热负荷。这样就有可能为应用提供稳定的高质量输出光束。KMLabs 数年来一直提供 XUUS4™ 系统，作为与 Dragon™ 和 Wyvern™ 超快激光系统完全集成的指定系统;但是，XUUS4™ 和光束线系统可由其他具有适当脉冲持续时间、光束质量和稳定性规格的高质量超快激光器(例如 Coherent Astrella®)驱动。

超短波长桌面级相干激光源、极紫外(EUV)和软 X 射线技术为激光技术应用迎来了颠覆性的突破。由高峰值功率超快激光器驱动高次谐波(HHG)产生的相干 EUV，已在 EUV 平版印刷、光谱学、显微镜及分子动力学研究等领域广泛应用。然而，稳定的HHG光源制备并非易事。 Coherent Astrella 与 KMLabs XUUS4TM 高次谐波发生系统的协同创新，成功实现 25-50 nm 波长极紫外光的稳定输出，为科研人员突破技术边界提供了全新可能。

实现紧凑型 EUV 光源

Astrella 具备稳定可靠的高能量脉冲输出能力，助力桌面级 EUV 实验平台轻松搭建，无需庞大复杂的设备，提高了科研的便利性。

提升 HHG 性能

凭借卓越的脉冲稳定性和光束质量，Astrella确保谐波输出的一致性和高效率，解决了 HHG 研究中常见的稳定性不足问题，为实验数据的可靠性提供坚实保障。

倍受科研领域的青睐

Astrella 已在众多前沿实验室广泛应用，支持先进光谱学、材料科学和阿秒物理学等研究领域，其可靠的性能和强大的功能，已成为科研人员探索未知的得力助手。

审核编辑 黄宇