北方华创收到2.1亿元国家科技重大专项资金

北方华创发布公告，公司及全资子公司北方华创微电子当日收到北京市经信委通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科技重大专项地方政府配套资金合计20978万元。上述政府补助预计不会影响公司2018年度税前利润总额。

具体项目补助情况分别为：

1、“45-32nm LPCVD设备产业化”项目

根据“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项实施管理办公室下发的《关于02专项2011年度项目立项批复的通知》 【ZX02[2011]003号】及其附件，北方华创承担了国家科技重大专项“45-32nm LPCVD设备产业化”项目，项目执行期六年（2011年-2016年）。本次，北方华创收到地方政府配套资金2,328.00万元。

2、“14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目

根据“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项实施管理办公室下发的《关于02专项2014年度项目立项批复及落实地方配套经费的通知》【ZX02[2014]018号】及其附件，北方华创微电子承担了国家科技重大专项“14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目，项目执行期四年（2014年-2017年）。本次，北方华创微电子收到地方政府配套资金9,423.00万元。

3、“28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化”项目

根据“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项实施管理办公室下发的《关于02专项2015年度项目立项批复的通知》【ZX02[2015]018号】及其附件，北方华创微电子承担了国家科技重大专项“28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化”项目，项目执行期四年（2015年-2018年）。本次，北方华创微电子收到地方政府配套资金4,811.00万元。

4、“14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目

根据“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项实施管理办公室下发的《关于02专项2016年度项目立项批复的通知》 【ZX02[2016]008号】及其附件，北方华创微电子承担了国家科技重大专项“14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目，项目执行期四年（2016年-2019年）。本次，北方华创微电子收到地方政府配套资金4,416.00万元。