破局晶圆制造厂AMHS瓶颈：弥费科技全新OHT系统实现效能和稳定性跃迁

电子发烧友网报道（文 / 吴子鹏）
在半导体制造领域，AMHS（自动物料搬运系统）堪称保障生产效率、良率和工厂稳定性的核心基础设施。半导体制造工序繁杂，涵盖光刻、蚀刻、沉积等数百道工序，晶圆在生产过程中需频繁移动。AMHS 系统凭借任务分配系统及调度系统，对 OHT（Overhead Hoist Transport，高空自动运输系统）的任务和路径进行合理规划和调度，确保晶圆在不同工序间高效流转。这也意味着，对于追求高稼动率的晶圆厂而言，AMHS 一旦出现故障，极有可能导致全线停产。

正如弥费科技 CEO 缪峰所言，尽管 AMHS 在整个半导体前道设备市场中的价值占比仅约 3%，但其与晶圆厂的效率、可靠性却有着近乎 100% 的紧密关联。作为国内 AMHS 领域的先行者，为进一步提升 AMHS 系统在半导体工厂复杂物流场景下的运行效率，弥费科技此前重磅推出 AMHS 智能传输新一代解决方案 —— 天帆 SS5000 系列 OHT 天车系统。
在弥费科技上海临港总部举办的媒体开放日活动中，弥费科技创始人兼 CEO 缪峰、联合创始人兼CSO 柯娜以及董秘李静雅等公司高层，向参会媒体详细介绍了这套新系统，并阐述了弥费科技后续的发展规划。
弥费科技CEO缪峰（左），弥费科技联合创始人兼CSO柯娜（右）

算力、算法和数据三维升级的天帆 SS5000

作为 AMHS 系统中的核心传输系统，OHT 天车系统专注于高空悬挂式自动化物料运输，通过高架轨道在各制程设备、存储柜（Stocker）之间高速运输晶圆或掩膜，从而保障生产流程的高效衔接。
OHT 天车系统拥有众多关键特征指标，包括速度、加速度、重复定位精度、振动、负载、载具兼容性、洁净等级与颗粒控制和可靠性等指标。其中，诸多指标与 OHT 系统效率的提升密切相关。例如如何在高速运行状态下实现振动抑制与精度保持，怎样完成复杂场景下的路径优化，以及如何实现多设备协同的高效对接等。
缪峰指出，为使天帆 SS5000 系统具备行业领先的效率与可靠性，弥费科技着重对算力、算法和数据这三大关键维度进行优化，实现 OHT 全栈技术的自研突破，并在整个系统层面完成了十大产品力升级。
在基础设施层面，弥费科技自主研发的 AMHS 专用高算力控制平台，该平台采用全冗余架构，搭配低延迟通讯网络和边缘计算平台，为系统的高效平稳运转提供有力支撑，系统可靠性高达 99.999%。这意味着天帆 SS5000 系统在运行过程中几乎不会出现停机故障，为晶圆厂的连续生产提供了坚实可靠的保障。
在算法层面，弥费科技运用时空预测模型和系统均衡架构，实现分布式部署和集群化管理。凭借公司自研的高速振动抑制算法和运动控制算法，OHT 直行速度提升至业界最高的 5.5m/s，振动不超过0.35G；多段速度和加速度平滑控制算法的应用，使取放货速度达到业界领先水平
在交互层面，天帆 SS5000 系统采用全新通信架构，并统一地图和交互数据，并通过弥费科技创新的时空融合预测算法配合智能岔道管控模块，结合基于统一地图的全厂 OHT 实时位置和运动状态通讯，有效避免拥堵和过长取货距离，直行过岔路效率提升 40%，将平均搬运时间 ADT 控制在 130s 以下。
在系统层面，天帆 SS5000 系统引入弥费自研的新一代物料管控系统 (MCS)，可实现与多品牌 业务系统 的无缝对接，适配 100 + 设备集成，图形化界面支持灵活定制；智能车队调度系统（MSTC）支持千台级 OHT 超大集群管理，结合 AI 强化学习优化任务分配与路径规划，并借助实时计算和高速通讯，确保大规模集群也能实现高效、可靠运行。并在智能化天眼系统/全场景异常处理机制/创新功能矩阵/人机交互升级/仿真验证平台等多个领域实现创新突破。
在软件部分提升的同时，弥费科技还对车体硬件进行改进，在天帆 SS5000 系统中搭载更智能、更安全、和更扁平轻巧的新车体。智能方面，新车体搭载八核 CPU+6TOPS NPU 控制器，自研嵌入式控制平台国产化率达100%；安全方面，每台 OHT 车体配备 18 个安全传感器，并通过专利减震机构保障晶圆的平稳运输；在扁平轻巧方面，新车体厚度达到业界最薄的 895mm，较上一代减重 8kg。同时，在速度/稳定性/可靠性/耐久度等核心指标均实现突破，完成核心技术指标对齐国际领先企业，并在部分关键效能指标实现领先。

从破局者到引领者的姿态转变

AMHS 虽然在半导体设备市场中的价值占比不高，但其影响力却不容小觑。
长期以来，AMHS 市场主要由村田、大福两家公司占据主导地位。与国内同行一样，弥费科技曾长期以追赶者和破局者的姿态深耕这一领域。然而，随着天帆 SS5000 系统的发布，弥费科技迎来全新局面。据介绍，弥费科技 AMHS 产品已进入全球 30 家以上晶圆代工厂及 IDM 企业，并且是目前国内唯一完成8寸及12寸晶圆厂验证，且晶圆厂整厂交付数量最多的国产AMHS系统方案公司。
此次，随着弥费科技新一代 OHT天车产品交付及应用，其在核心技术指标领域的赶超与突破标志着其在技术领域已完成在全球产业竞争格局中破局者到引领者的转变。而在技术上持续创新突破的同时，弥费科技也不断加强国内外市场渗透与布局。
在产品可靠性方面，除了持续增加的全厂验证交付系统所积累的实时运营数据，弥费科技还打造了 2000㎡国内最大的 AMHS 全厂集成验证 Demoline。在该验证平台中，弥费科技部署了 30+OHT 集群、高低轨 1000m + 轨道以及 50 + 成套设备对接，实现高密度全工艺运营。同时，仿真验证平台 DeepSim 中运行的OHT 车体运行状态，也与最终部署后的实际运行状态一致。
在标准制定方面，弥费科技第五代天车产品已通过 SEMI、CE 等 19 项国际认证，多项核心参数达到国际领先水平。同时，公司积极参与最新标准制定，牵头制定了 AMHS 领域首个标准《集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求》（T/SICA006—2024），在技术合规性与生态话语权上成功突破国际壁垒。
关于生态布局，缪峰表示，弥费科技将依托上海临港与马来西亚双制造基地和全球供应链布局，构建从核心零部件到整厂系统的全链条国产化及本地化交付能力，在交付效率和服务水平上形成对日系厂商的差异化竞争优势。