电容测微仪—高精度精准测量

在现代工业和科学研究领域，对于微小尺寸和位移的精确测量需求日益增长。作为精密测量领域的核心技术之一，电容测微仪主要用于长度（深度、高度、厚度、直径、锥度）测量、振动测量、微位移检测等，凭借其非接触、高精度等优势，在高端制造、科研及医疗等领域发挥关键作用。

芯明天电容测微仪

电容测微仪是一种基于电容变化原理的非接触式精密测量仪器。其核心原理是通过检测电容器两极板之间的电容值变化来反映被测物体的位移量。

芯明天电容测微仪它由电容传感探头和传感及供电组成。它可以测量1mm范围内的微小位移，测量精度高达纳米级。

（1）电容传感探头

芯明天电容传感探头分为柱型和方型两种。如下图所示。

产品特点

• 测量量程可达 1mm

• 测量分辨率可高达 1.25nm

• 非接触式测量，无磨损

• 三电极结构和电场屏蔽环构造

• 可测量所有导电材料

• 探头对被测件不产生机械外力

• 主动电场屏蔽设计

• 适用于洁净室、真空环境下使用

• 提供更高的测量精度

• 被测物体导电性强弱不影响测量

典型应用

1.晶圆厚度检测：电容测微仪可以用于半导体晶圆厚度检测，非接触式测量可以避免晶圆表面在检测过程中受到外界应力而磨损或损伤，电容传感器能够以纳米级分辨率精准测量微小尺寸变化，确保晶圆制造的质量和性能，提高良品率。

2.天文望远镜镜片定位：电容测微仪可测量镜片之间的相对位置和间距，保证光学系统的成像质量，使望远镜能够捕捉到更清晰、更遥远的天体图像。

3.精密机械加工：在精密机械零件的加工中，电容测微仪可用于测量零件的尺寸精度、表面平整度和加工过程中的微小形变。

4.材料力学性能测试：在材料拉伸、压缩等力学实验中，电容测微仪可以精确测量材料在受力过程中的微小变形，从而得到材料的应力，分析材料的力学性能参数。

电容探头技术参数

名称	电容传感器
量程范围	0~1000μm
静态分辨率	1.25nm~10nm
动态分辨率（1kHz）	50nm~400nm
线性度	50nm~400nm
重复度	2.5nm~20nm
传感器直径/边长	10或9mm
被测表面最小直径/边长	10或9mm
传感器线长	2m
探头尺寸	Φ10×18.5mm^3或13×13×4.3mm^3

（2）传感控制器

芯明天根据不同应用需求，为电容传感器匹配三种类型控制器，分别是模块化多通道传感控制器、单通道小体积传感控制器和板卡式传感控制器。

传感控制技术参数

产品	电容传感控制器
传感器模式	CAP
通道数	1~12
静态分辨率	0.00125%F.S.
动态分辨率（2kHz）	0.05%F.S.
绝对误差	±0.2%F.S.
线性度	0.05%F.S.
重复精度	0.0025%F.S.
信号温度稳定性	＜0.005%FSO/℃
长期稳定性	＜0.004%FSO/月
带宽	2kHz
工作温度	-10~+50℃
存储温度	-10~+75℃
环境湿度	＜85%
传感器输出接口	BNC或SMA
供电模式	AC 220V 50Hz或24VDC
E01外形尺寸	280×175×375 mm^3
E00外形尺寸	500×175×375 mm^3
E75外形尺寸	105×26×66 mm^3
E09外形尺寸	35.2×129×171.5 mm^3

更多详情欢迎致电芯明天0451-86268790、17051647888（微信同号）！

审核编辑 黄宇