半导体设备防震基座制造的环氧（EPOXY）制作工艺参数

1，原料配比参数

（1）环氧树脂与固化剂比例：这是 EPOXY 制作中最关键的参数之一。不同类型的环氧树脂和固化剂有不同的最佳配比。以双酚 A 型环氧树脂和胺类固化剂为例，通常胺类固化剂的用量是根据环氧树脂的环氧当量来计算的。例如，使用乙二胺作为固化剂时，其活泼氢当量较低，与环氧树脂反应时，理论上乙二胺的用量约为环氧树脂环氧当量的 1/5 左右。但在实际操作中，考虑到环境因素、固化速度要求等，可能会有一定的调整范围，一般在理论用量的 90% - 110% 之间。如果固化剂用量过少，会导致固化不完全，产品硬度不够、强度低；而固化剂用量过多，可能会使产品变脆，耐冲击性下降。

（2）稀释剂用量：当需要降低环氧树脂的粘度时会使用稀释剂。活性稀释剂（如环氧丙烷丁基醚）在体系中的用量一般不超过环氧树脂质量的 15% - 20%。如果用量过多，虽然可以有效降低粘度，但会影响固化后的性能，如降低硬度和强度。非活性稀释剂（如丙酮）用量通常也在一定范围内，并且由于其在固化过程中会挥发，要考虑其挥发对产品质量

的影响，一般不超过环氧树脂质量的 10%，否则可能会导致产品出现大量气孔。

（3）填料添加量：填料的添加主要是为了改善 EPOXY 的性能或降低成本。例如，添加碳酸钙作为填料来增加硬度和降低成本时，其添加量可以根据产品要求在环氧树脂质量的 20% - 60% 之间变化。如果添加量过低，对性能的改善效果不明显；添加量过高，可能会影响树脂的流动性，导致成型困难，并且可能会降低树脂与其他材料的粘结性能。对于一些功能性填料，如用于提高耐热性的二氧化硅微粉，添加量一般在环氧树脂质量的 10% - 30% 之间，以达到较好的耐热效果。

2，混合搅拌参数

（1）搅拌速度：在混合原料时，搅拌速度对原料的混合效果和气泡引入有重要影响。开始搅拌时，建议使用较低的速度，一般在 100 - 300 转 / 分钟，使环氧树脂和固化剂等初步混合均匀。当所有原料基本混合后，可以适当提高搅拌速度到 300 - 800 转 / 分钟，以确保填料等添加剂能充分分散在树脂体系中。但搅拌速度不宜过高，否则容易引入大量空气，形成气泡。例如，如果搅拌速度超过 1000 转 / 分钟，对于粘度较低的 EPOXY 体系，可能会在短时间内引入大量气泡，这些气泡在后续工艺中很难完全去除，会影响产品的质量。

（2）搅拌时间：搅拌时间根据原料的量、粘度和搅拌速度等因素而定。对于少量（如 1 - 2 千克）的 EPOXY 原料，在上述搅拌速度下，搅拌时间一般在 10 - 20 分钟左右。如果原料量较大（如 10 千克以上），或者粘度较高（如添加了大量填料后的情况），搅拌时间可能需要延长到 30 - 60 分钟，以保证所有成分充分混合均匀。

3，脱泡参数

（1）真空脱泡：如果采用真空脱泡法，真空度一般设置在 - 0.08MPa 至 - 0.1MPa 之间。在这个真空范围内，气泡能够快速膨胀并逸出。脱泡时间与材料的体积和粘度有关，对于体积较小（如小于 1 升）、粘度较低的 EPOXY 材料，脱泡时间可能只需要 5 - 10 分钟；而对于体积较大（如大于 5 升）、粘度较高的材料，可能需要 15 - 30 分钟。例如，一种含有较多填料的高粘度 EPOXY 材料，在 - 0.09MPa 的真空度下，体积为 10 升时，脱泡时间可能需要 25 分钟左右才能有效去除大部分气泡。

（2）自然脱泡：自然脱泡主要是将混合好的 EPOXY 材料静置，让气泡自然上浮逸出。这种方法所需的时间较长，而且受材料粘度影响较大。对于粘度较低的材料，在温度为 25℃左右的环境下，可能需要静置 2 - 4 小时；而对于粘度较高的材料，可能需要静置 8 - 12 小时甚至更长时间才能达到一定的脱泡效果。

4，成型固化参数

（1）固化温度：固化温度取决于固化剂的类型。常温固化的固化剂（如脂肪胺类）可以在 15 - 30℃的环境温度下固化，不过固化速度相对较慢，一般需要 24 - 48 小时。如果使用需要高温固化的固化剂（如芳香胺类或酸酐类），固化温度通常在 60 - 120℃之间。例如，间苯二胺作为固化剂时，固化温度一般在 80 - 100℃左右，在这个温度范围内，固化反应速度适中，固化后的产品具有良好的机械性能和耐热性。

（2）固化时间：固化时间与固化温度、固化剂类型和产品尺寸等因素有关。在常温固化条件下，如使用乙二胺固化双酚 A 型环氧树脂，固化时间约为 24 - 48 小时。对于高温固化，以固化温度为 80℃，使用芳香胺类固化剂为例，固化时间可能在 1 - 4 小时之间。产品尺寸较大时，由于热量传递需要时间，固化时间可能需要适当延长，以确保内部也能完全固化。例如，一个厚度为 5 厘米的 EPOXY 产品，在 80℃固化时，固化时间可能需要比标准时间延长 30% - 50%，以保证产品质量。