日本住友精密工业全面进军MEMS代工业务，目标2030年实现百亿日元营收

据传感器专家网获悉，据日本日刊工业新闻11月25日报道，日本住友精密工业将正式进入微小电气机械系统（MEMS）的代工（Foundry）业务领域。

据新闻介绍，住友精密工业接收了此前与美国企业共同运营的合资公司相关业务。通过整合MEMS设备及制造技术的专业知识，以及母公司住友商事的销售网络等资源，公司计划切入预计增长迅速的MEMS市场，目标瞄准汽车高性能传感器（LiDAR）及高性能扬声器等领域，到2030年实现超过100亿日元的营业收入。

早在1999年，住友精密工业通过与美国科林斯航空系统公司（Collins Aerospace）的合资企业“英国硅感系统公司”（Silicon Sensing Systems），从事陀螺仪和加速度传感器等MEMS设备的生产与销售，同时也涉足MEMS代工业务。

Silicon Sensing Systems Ltd 是位于英国英格兰西南部普利茅斯，Collins Aerospace 在陀螺仪和惯性传感器方面的传统可以追溯到 Sperry Gyroscope Company，该公司成立于 1913 年，这使得企业在复杂惯性系统及其在实际应用中的部署领域拥有深厚的专业知识。住友精密工业总部位于日本尼崎，在硅 MEMS 制造领域拥有独特的专业知识。经过 20 年的成功合作，Silicon Sensing Systems 已成为全球市场上备受推崇的可靠优质产品供应商。

此次，公司将代工业务独立出来，并移交至住友精密工業。

2023年12月，公司成立了“MEMS Infinity部门”，专注于承接新业务，而合资公司时期的订单则将继续由该部门承接。

MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圆代工厂，通过原型设计和大规模生产，满足客户对MEMS概念设计和评估的不断增长的需求。

MEMS Infinity位于日本尼崎市（Amagasaki）的工业和技术中心，拥有一个20,000平方英尺的洁净室，可以制造多种MEMS器件，包括静电式和电磁式传感器和执行器。MEMS Infinity也是该行业为数不多的提供PZT薄膜组合的MEMS代工厂之一。PZT薄膜是一种可将电能转换为机械能的压电材料，反之亦然。PZT薄膜非常适合用于高性能执行器、微机械超声换能器（MUT）和声学传感器等新兴技术。

epi-PZT晶圆 为扩大MEMS代工业务，公司将充分利用在MEMS设备设计、生产技术开发、制造和市场营销等方面的经验优势。住友精密工業的全资子公司SPP Technologies（总部位于东京都千代田区）专注于MEMS制造设备如硅深刻蚀装置的开发，这使公司在设备利用方面具有明显优势。

量产的MEMS设备将委托英国硅感系统公司生产，同时住友精密工業计划逐步提升自身的生产能力。到2030年，公司预计投入数十亿日元，将产能扩充至现有水平的数倍，同时将员工人数从现有的约20人增加到100人以上。

公司高管表示，“同时拥有MEMS设备和设备制造技术的代工厂在行业中非常少见。”MEMS设备由于其小型化、高功能化及节能特性，市场需求预计将持续增长。

来源：上海交通大学电子信息与电气工程学院