Aston 质谱分析仪搭配 Scrubber 半导体尾气处理设备进行气体检测

半导体工艺一般会产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体需要以受控方式进行处理. 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱分析仪与Scrubber半导体尾气处理设备联用, 对处理完的气体在线监测分析, 并对分析数据进行监控和记录, 使其符合环境法规.

上海伯东Aston™ 质谱分析仪半导体尾气检测解决方案
Aston 质谱仪与半导体尾气处理设备排气端相连, 半导体废气处理设备 Scrubber排出的气体先经过水洗塔内进行喷淋水洗溶解, 带走一些毒性腐蚀性排放物, 然后在使用 Aston 进行剩余气体检测和分析, 主要检测 N2O 浓度等, 使其符合国际减排指标.

Aston 质谱分析仪

使用Aston™ 质谱分析仪优势
体积小, 便于携带, 整机重量仅 13.7 KG
与 GCMS 测试对比, 时时检测, 不用特别取样, 实现快速地减排气体监测
可以根据进入的废气浓度和测量的排放气体数据, 记录日志
能够承受严酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）气体
低至 PPB 水平的灵敏度

Aston质谱仪技术参数

	质量分辨率	0.8 u
	质量稳定性	0.1 u
	灵敏度(FC / SEM)	5x10-6/ 5x10-4A/Torr
	检测极限	10 ppb
	最大工作压力	1X10-3torr
	每单位停留时间	40 ms
	每单位扫描更新率	37 ms
	发射电流	0.4 mA
	发射电流精度	0.05%
	启动时间	5 mins
	离子电流稳定性	< ±1%
	浓度的准确性	< 1%
	浓度稳定性	±0.5%
	电力消耗	350W
	重量	13.7 Kg
	尺寸	400 x 297 x 341 mm

Aston™ 是一款全新设计坚固耐用的紧凑型在线质谱仪, 适用于半导体制造和工业过程控制应用中气体监测和控制, 高定量精度和实时性与生产稳健性和可靠性相结合, 例如半导体 dry pump 尾气侦测分析, 实现在线监控, 诊断.

若您需要进一步的了解Atonarp Aston™在线质谱仪详细信息或讨论,
请联络上海伯东: 叶女士分机107

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