SOLMATES：准分子激光器推进脉冲激光沉积
挑战
薄膜沉积技术应用于多种市场，例如 MEMS、半导体、光伏、OLED 显示屏和用于 5G 通信的射频滤波器。 新型复杂材料系统具有越来越重要的材料特性，这就要求对薄膜沉积技术进行不断扩展和质量改进，以支持更多种类的薄膜工艺，同时还可以实现灵活的工艺优化。 Solmates 位于荷兰恩斯赫德，该公司专业研发脉冲激光沉积 (PLD) 技术，已着手为不断发展的薄膜行业开发功能强大且使用方便的沉积设备。
解决方案
Solmates 团队使用了 PLD。这是一种物理气相沉积方法，依靠准分子激光将化学计量特征极为复杂的材料沉积在导电和非导电基板上。 他们的 PLD 系统可以完全控制沉积参数，因而能够对最终薄膜特性进行工程设计，例如成分、结晶度、密度、孔隙率和薄膜应力。 薄膜制造商可以获得其他沉积技术无法实现的电学和光学薄膜特性，甚至涉足新材料系统和应用。 Solmates 选择了相干公司的 LEAP 准分子激光器系列，因为该产品系列兼具高能量(每脉冲高达 1 焦耳)和可扩展功率(80 至 300 W)，这两个方面决定了 PLD 系统的吞吐量。 此外，LEAP 激光器在要求苛刻的大批量生产环境中拥有良好记录，具备全天候工业可靠性，并尽可能降低每片晶圆的成本。
结果
如今，Solmates PLD 平台可以集成到任何标准集群框架中，以支持小规模和大批量生产。 随着适合最大 300 毫米工业晶圆的高质量 PLD 工艺的出现，工业客户能够扩大他们的薄膜沉积产能，并在沉积产品组合中添加大约 30 种新材料和材料系统。
审核编辑 黄宇
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
激光器
+关注
关注
19文章
3011浏览量
64795
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
什么是脉冲激光器？ 常见的脉冲激光器有哪些技术类型？ 目前性价比最高的脉冲激光器是哪个品牌的？ 市面
在先进制造、精密科研、光电通信、医疗美容等前沿领域，脉冲激光器凭借高峰值功率、窄脉宽、高光束质量等核心优势，已成为不可或缺的核心光源。相较于连续激光器，脉冲激光器以周期性脉冲形式输出
全球首台可探测单分子的微型激光器
日前，英国埃克塞特大学科学家研制出全球首台可探测单个分子或离子的微型激光器。这一突破有望大幅推动疾病早期诊断与分子级医学检测的发展，也为开发微型激光生物传感技术——包括可实现即时检测与
频率可调谐光子集成外腔激光器
----翻译自Grigory Lihachev, Andrea Bancora等人的文章
摘要
超低损耗氮化硅集成光子电路技术的最新进展为新一代集成激光器的发展铺平了道路，使得集成激光器可实现光纤
发表于 03-16 17:22
晶众光电推出两款风冷一体化纳秒脉冲激光器
在激光技术日新月异的今天，晶众光电始终致力于为客户提供高性能、高可靠性的激光器产品。此次推出的风冷一体化纳秒脉冲激光器——PN1064-100MSN-E 与 PV532-60MSN-E，以其卓越
一款紧凑型短脉冲激光器：能量转换效率突破80%！
团队研发出新型高效紧凑型短脉冲激光器 德国斯图加特大学与斯图加特仪器有限公司科研团队研制出一款紧凑型短脉冲激光器，其能量转换效率高达80%，远超当前同类产品。这一突破为开发便携、经济的激光设备开辟了
汉威科技拉曼激光器在物质分子鉴别领域的应用
拉曼散射为鉴别物质成分打下了重要理论基础，而激光器的出现则为其提供了理想光源，更容易获得完整的拉曼光谱。基于此，拉曼激光器应运而生，拉曼光谱技术迅速被应用于诸多领域的物质分子鉴别。
大化所研制出基于准分子四波混频的波长可微调碱金属蓝光激光器
近日，我所氧碘化学激光器效率和光腔研究研究组(703组)胡墅项目研究员、郭敬为研究员、谭彦楠研究员团队提出了一种基于铷-氦准分子参与的四波混频过程产生波长可微调蓝光激光的新方法。该方法利用双光子激发
激光器种类及特点
激光器可以按照泵浦方式、增益介质、工作方式、输出功率、输出波长等不同维度进行分类，以下是各类激光器的种类及特点： 一、按泵浦方式分类 1.光泵浦激光器：利用外界光源发出的光来辐照工作物质以实现粒子数
激光器电源技术电子书
从内容上看，本书可分成三部分:1.介绍了激光器电源中使用的几种电子器件，诸如晶闸管(SCR)、功率场效应晶体管(VMOS)、绝缘栅双极晶体管(IGBT)。这几种器件各具特点，在激光器电源及电力电子学
发表于 06-17 17:45
超短脉冲激光加工技术在半导体制造中的应用
随着集成电路高集成度、高性能的发展，对半导体制造技术提出更高要求。超短脉冲激光加工作为一种精密制造技术，正逐步成为半导体制造的重要工艺。阐述了超短脉冲激光加工技术特点和激光与材料相互作用过程，重点介绍了超快
减小激光器带宽的基本方法
。 激光展宽机制 激光器的输出带宽源于跃迁能级的模糊性。原子(或分子)集合的能级不是确定的，而是有一定的宽度，因此原子在跃迁时不会发射波长或能量完全相同的光子。能级有多种产生展宽机制。对于气体
EastWave应用：垂直腔表面激光器
谐振腔的共振频率和品质因子，除受腔长度影响外，还可能取决于腔表面的褶皱程度。本例在光子晶体谐振腔的表面，设计了波浪形的激光工作物质，组成垂直腔激光器。它可以在单模状态下稳定工作，并具有平坦的波前
发表于 05-12 08:57
宝辰鑫创新推出小型化MOPA脉冲激光器，为工业智造“减负”赋能
凭借母公司创鑫激光多年的技术积累，重磅推出BFPT系列小型化MOPA脉冲激光器，为工业智造带来创新解决方案。这款新品在体积上较上一代产品最大降幅达78%，重量最大减轻70%，实现了从外形尺寸到整机重量的全面优化，为工业设备集成
连续激光器与脉冲激光器：有什么区别？
连续激光器和脉冲激光器之间的更多区别。 QCW 与脉冲 您会遇到三种类型的激光器：连续波 (CW)、准连续波 (QCW) 和脉冲激光器。QC
评论