挑战
薄膜沉积技术应用于多种市场,例如 MEMS、半导体、光伏、OLED 显示屏和用于 5G 通信的射频滤波器。 新型复杂材料系统具有越来越重要的材料特性,这就要求对薄膜沉积技术进行不断扩展和质量改进,以支持更多种类的薄膜工艺,同时还可以实现灵活的工艺优化。 Solmates 位于荷兰恩斯赫德,该公司专业研发脉冲激光沉积 (PLD) 技术,已着手为不断发展的薄膜行业开发功能强大且使用方便的沉积设备。
解决方案
Solmates 团队使用了 PLD。这是一种物理气相沉积方法,依靠准分子激光将化学计量特征极为复杂的材料沉积在导电和非导电基板上。 他们的 PLD 系统可以完全控制沉积参数,因而能够对最终薄膜特性进行工程设计,例如成分、结晶度、密度、孔隙率和薄膜应力。 薄膜制造商可以获得其他沉积技术无法实现的电学和光学薄膜特性,甚至涉足新材料系统和应用。 Solmates 选择了相干公司的 LEAP 准分子激光器系列,因为该产品系列兼具高能量(每脉冲高达 1 焦耳)和可扩展功率(80 至 300 W),这两个方面决定了 PLD 系统的吞吐量。 此外,LEAP 激光器在要求苛刻的大批量生产环境中拥有良好记录,具备全天候工业可靠性,并尽可能降低每片晶圆的成本。
结果
如今,Solmates PLD 平台可以集成到任何标准集群框架中,以支持小规模和大批量生产。 随着适合最大 300 毫米工业晶圆的高质量 PLD 工艺的出现,工业客户能够扩大他们的薄膜沉积产能,并在沉积产品组合中添加大约 30 种新材料和材料系统。
审核编辑 黄宇
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。
举报投诉
相关推荐
准分子 PLD 制备的优质薄膜提升了太阳能电池的效率。“相干公司准分子激光器的高脉冲间稳定性是实现大面积均匀脉冲激光沉积的关键特性。”— 助
发表于 09-20 06:27
•177次阅读
本文主要介绍了脉冲激光清洗机的基本原理、品牌推荐以及行业应用。圣同智能激光的脉冲激光清洗机因其高效清洁和智能化系统备受赞誉。其在汽车制造、电子零件加工和航空航天等领域具有广泛应用前景。
发表于 08-22 13:32
•333次阅读
Photonics Industries 开创性的高脉冲能量激光器产品组合最近有所扩展。DM UV 系列现在在 50 kHz 时提供高达 1 mJ 的功率,DP1k 激光器在 20kHz 时提供高达
发表于 08-22 06:23
•252次阅读
如题我现在用的是51单片机定时器产生的脉冲 达不到窄脉冲的要求
手里有STM32可产生PWM,但是感觉百ns以内的窄脉冲,MCU的上升沿时间应该不短吧,而且高电平电压幅度也到不了3
发表于 08-21 07:35
8通道915nm SMT脉冲激光器可增强自动驾驶汽车的远距离激光雷达系统; 经过AEC-Q102认证的8通道QFN封装,具有高性能和高效率,采用艾迈斯欧司朗专有的波长稳定技术; 基于20多年的脉冲激光器
发表于 08-08 16:31
•348次阅读
。传统上,高功率 193 纳米(nm)激光器在光刻技术中起着举足轻重的作用,是精确图案化系统不可或缺的组成部分。然而,传统 ArF 准分子激光器的相干性限制阻碍了其在干涉光刻等需要高分辨率图案的应用中的有效性。 混合 ArF 准分子激光
发表于 07-23 06:24
•185次阅读
基于主动调Q、被动调Q和增益开关技术的激光器能够产生高能量的瞬时短激光脉冲。友思特提供基于多种调制技术的百皮秒级脉冲激光器,脉宽覆盖独特的50ps~1ns范围,可在科研、医疗与工业领域
发表于 06-18 17:53
•425次阅读
一、超快激光器的概念 超快激光器通常指用于发射超短脉冲的锁模激光器,例如,持续时间为飞秒或皮秒的脉冲。更精确的叫法应为超短
发表于 04-08 06:33
•713次阅读
据麦姆斯咨询报道,泛林集团(Lam Research,纳斯达克股票代码:LRCX)近日宣布推出全球首款面向量产的脉冲激光沉积(PLD)机台,以赋能基于MEMS的下一代麦克风和射频(RF)滤波器。
发表于 04-07 09:11
•1084次阅读
光纤耦合激光器是什么 光纤耦合激光器支持多波长激光输出吗? 光纤耦合激光器是一种集成了激光二极管和光纤耦合器件的
发表于 01-31 10:15
•909次阅读
VCSEL激光器与EEL激光器的区别 VCSEL激光器与EEL激光器是两种不同的激光器技术,本文将详细介绍它们的区别。VCSEL
发表于 01-31 10:15
•4770次阅读
电子发烧友网站提供《脉冲掺饵光纤激光器产品手册.pptx》资料免费下载
发表于 01-23 09:43
•0次下载
图1:不同根本原因导致的激光诱导损伤的各种形态。 与脉冲激光系统相比,使用环境对连续波(CW)激光损伤阈值的影响更大,因此连续波激光系统用户需要更加谨慎。连续波
发表于 01-23 06:39
•362次阅读
通过有效控制AlN薄膜与Si衬底之间的界面反应,利用脉冲激光沉积(PLD)在Si衬底上生长高质量的AlN外延薄膜。英思特对PLD生长的AlN/Si异质界面的表面形貌、晶体质量和界面性能进行了系统研究。
发表于 11-23 15:14
•506次阅读
公大激光成立于2019年,系智能激光器光源制造商,专注于中高功率短波长(绿光和紫外)光纤激光器研发和制造,核心产品包括“50-200W亚纳秒脉冲绿光
发表于 11-16 16:20
•747次阅读
评论