奥松电子AGP21系列电容薄膜真空规产品介绍

自奥松电子成功推出AGP3000系列皮拉尼真空计与AGP10系列压阻真空规以来，这两款高品质且高性价比的产品在半导体、光伏等行业迅速崭露头角，凭借其卓越的性能和广泛的应用场景，成功满足了真空测量领域的多样化需求，成为了国产替代的理想选择，赢得了客户们的广泛赞誉。

如今，奥松电子再次凭借其在真空测量技术领域的深厚积累，推出了AGP21系列电容薄膜真空规，这款产品不仅继承了前两款的优点，进一步提升了测量精度和性能，同时优化了用户体验，使其更加便捷易用。

1产品介绍

AGP21 系列是高精度电容式薄膜真空规，具有精度高、响应时间快等特点，满足当今关键工艺控制的应用需求，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。产品配备了标准的 KF16 压力接口，可根据需要选配不同的转接件，确保与各种设备和系统的无缝对接。

2产品特点

• 高精度真空测量：±0.3%读数

•性能长期稳定可靠

•卓越的抗腐蚀性能：触气处选用INCONEL高温耐蚀合金，其具有抗腐蚀、抗蠕变、高稳定性等特点。

•标准Modbus RTU通信

•TFT-LCD彩屏显示

•支持 Pa、Torr、mbar 三个常用单位的切换

•配备了标准的 KF16 压力接口：其材质为316L不锈钢，表面采用电抛光处理工艺，能够实现高真空密封要求，具有安装便捷、拆卸方便、接头不易变形等特点。

•提供灵活多样的连接方案：还可以选配KF16转其它接头的转接件，确保能够轻松适应不同设备、不同系统的连接需求。

3产品参数

4应用场景

AGP21系列应用于半导体、光伏、石化、真空灭菌、真空包装、真空干燥等行业，尤其适用于对低真空压力测量要求至关重要的工艺过程，比如PECVD/ALD镀膜工艺、等离子体刻蚀等工艺。