佳能2024年将发布第六代玻璃基板FPD曝光设备新品MPAsp-E100

2024 年 6 月初，佳能中国宣布将于市场推出支持第六代玻璃基板的全新 FPD 曝光设备——MPAsp-E1003H。FPD 即平板显示器，有多种类型如 LCD、OLED、LED、PDP、ELD、FED、投影显示等等。

据悉，此款设备采用投影光学系统，具备高达 1.5μm 的分辨率以及扩大近 1.2 倍的曝光幅面，有助于提高生产效率。该投影光学系统曾应用于“MPAsp-H1003H”，成功用于生产 65 英寸面板，满足大型电视等需求。

在生产智能手机面板等产品时，新设备只需 4shot 曝光，相较之前的 6shot 曝光，生产性能显著提升。此外，在生产车载横向大型特殊显示器时，新设备亦可实现无接缝 2shot 曝光。值得注意的是，新设备驱动速度提升约 60%，tact time 提升约 14%，极大地提高了量产效率。

佳能指出，新设备不仅采用与支持第六代玻璃基板的“MPAsp-E813H”相同的多点同时测量对位方式，确保高效生产的同时保持高精度曝光，而且搭载了新研发的非线性补正 REI 模块，即便曝光幅面扩大仍能达到±0.30μm 的高套刻精度。

此外，新设备延续了“MPAsp-H1003H”的超分辨率技术，配备照明模式切换机构，可根据图案种类切换照明模式，适应各种制造工序的曝光需求。

在形成圆弧光的机构中，新设备配置曝光狭缝自动调整机构（SIC），通过自动调节光线通过的狭缝宽度，改变曝光光线的强度分布，以实现稳定的曝光线宽。

同时，新设备采用universe chuck，可根据曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向，首次实现满足车载显示器多样化布局需求。佳能表示，MPAsp-E1003H 通过强化制造工序的工艺应对能力，确保制造质量更稳定。