北方华创微电子获加热器及设备专利
近期，位于北京市的北方华创微电子智能装备有限公司荣获了一项名为“半导体设备的加热器及半导体设备”的专利，其授权公告号为CN113604786B，并将于2024年5月17日正式生效。该项发明的申请日期定格在2021年7月6日。
这项申请致力于提供一种半导体设备的新型加热器及其适用范围，包括了加热盘和第一冷却元件两个关键部件。其中，加热盘被设计成可放置在半导体设备的腔体内，其底部设有开口，使第一空腔能够与外部空气进行流通。而第一冷却元件则被固定在第一空腔内部，负责将冷却气体导入至第一空腔内。这种加热器在半导体设备的生产过程中，能有效保持加热盘的温度稳定性。
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