御微首台掩模基板缺陷检测仪 Halo-100顺利交付

5月12日，皖江经济带核心城市合肥的边界上，御微首台掩模基板缺陷检测产品Halo-100正式装车，准备运输交付给国内顶尖掩模工厂。

据御微半导体官方公告，这台被誉为“掩模全周期质量控制“的Halo-100设备，是该公司产品线的第二款力作。

它利用了高精度光学系统、稳定运动台系统及高洁净度环控与传输系统，结合御微独家算法和软件系统，成功满足了对掩模基板（blank）缺陷检测的需求，同时也将掩模检测的应用范围扩展到了掩模厂来料检验和掩模基板厂全流程控制检查。

据悉，Halo-100设备可广泛应用于掩模基板厂的玻璃基板来料检验、多层镀膜过程检验和成品出货检验等环节，帮助客户在每一个生产阶段都能实时监控洁净度状况。