北方华创微电子装备公司半导体工艺设备传输腔室专利公示

根据天眼查数据，北方华创微电子装备有限公司‘半导体工艺设备及其传输腔室’的相关专利已于2024年4月5日公开，公开号为CN117832049A。

此项专利主要涉及半导体工艺技术领域的设备改进，包含腔室主体、机械手和环状体等部件。其中，机械手的固定端与腔室主体的底壁紧固衔接；而环状体则呈环绕状布置在腔室主体底部，并围绕着机械手的旋转轴组件。此外，环状体内还设有多个气体通道，以便向旋转轴组件喷射惰性气体。

通过这种设计，可以确保机械手的旋转轴组件在任何角度下都能得到惰性气体的充分吹扫，从而有效防止工艺气体残留在旋转轴组件内部的磁流体密封结构中，进一步保障了磁流体密封结构的密封效果和机械手的长期稳定性。