北方华创微电子获新专利：半导体腔室设备简化调平步骤

近日，北京北方华创新型微电子旗下的子公司——北京北方华创微电子装备有限公司，成功获得一项名为“半导体腔室及设备”的重要发明专利。该项专利公布于中国国家知识产权局，授权公告号CN220665444U，公告日期为2024年3月26日。其初始申请日期为2023年7月27日。

此实用新型主要涉及一种半导体腔室以及相关设备。这个集成的腔室内包含了几个关键组件，如腔室本体、基座组件（负责放置圆晶）、磁流体组件（由驱动件和固定件组成，其中，固定件位于腔室本体外部，而驱动件则可旋转并密封于固定件之上），可以实现驱动件从腔室本体外部穿入到内部，并固定于基座组件上。

这个设计还特别配备了一个调平机构，它固定于腔室本体的外墙上，同时也将固定件与之相连。通过这样的方式，不仅能调整磁流体组件的设立角度，进而改变支撑面的角度，还可以大大简化反应器的调节过程，节省时间精力，减少维护成本，有效提升生产效率。