半导体隐形冠军再推新品，PVA TePla重磅推出SiCN系列

设备是工业之母，在半导体领域也是如此，尤其是晶体生长设备，直接决定了半导体最源头——晶圆的品质。在这个领域目前全球参与者众多，但能长期深耕，广泛布局第一代到第三代晶体生长设备，成为垂直领域中坚力量的企业屈指可数。

作为一家专业从事高端材料处理设备的企业，PVATePla成立至今已经有30多年了，如今的PVATePla已经从当初法兰克福旁边的一家小企业，成为全球晶体设备领域的隐形冠军，并且在高速成长。以2022年财报来看，其营收同比增长了31.8%，到了最新的2023年，其销售额突破2.6亿美元， 同比增长28%。

专注核心市场

纵观PVATePla的成长史不难发现，专注是其保持经营活力的核心秘诀。1999年收购莱宝贺利氏真空设备制造有限公司（CGS），该公司制造了世界第一台单晶炉设备，此项收购奠定了PVATePla今日晶体设备制造的技术来源。随后公司又收购了位于丹麦的区熔炉设备制造板块，奠定了其在区熔炉晶体制造领域的实力。此后在2002年、2003年、2022等时间节点收购多家企业，完成自身的战略布局。从过去的并购经验来看，PVATePla始终围绕着与材料相关的业务而进行经营。

如今PVATePla的设备在半导体产业链中，涵盖了硅锭/晶圆的生产（硅晶体生长、碳化硅晶体生长）、前端和后端（等离子处理）、封装（缺陷分析）、以及计量等众多环节。

具有前瞻性的技术布局

PVATePla能够高质量增长30年的另一个秘诀在于其始终走在行业前沿，能够提前进行市场布局，掌握先发优势。

比如在SiC领域，2007年PVATePla就与客户共同研制了HTCVD化学气相沉积法，2012年公司意识到SiC市场将会迎来爆发后，果断将HTCVD简化成PVT，该设备保留了SiC生长晶体的一些技术属性和工艺经验，并且简化了很多不必要设计。

设备整体变得更加轻巧简洁，并且成本也降下来了，十分适合工业化生产，可以说PVATePla的该款PVT设备直接推动了早期SiC衬底成本的降低。随后PVATePla不断与客户沟通优化，又推出了8英寸的PVT法设备，帮助客户批量生产8英寸SiC衬底材料。在如今8英寸SiC渐成主流的趋势之下，PVATePla再次为产业链贡献自己的力量。

深耕中国市场

从PVATePla财报中不难发现，亚洲是其最大的市场，而中国则是其重要的在亚洲最大的单一市场。事实上，PVATePla也已经深耕中国多年。其在中国已经与多所大学、研究机构建立合作，在SiC方面，中国最早的SiC晶体工艺研发用的就是PVATePla的设备，并且国内众多知名的SiC衬底企业也是PVATePla的客户。

PVA TePla财报

而PVATePla也对中国市场很有信心，PVATePla中国区负责人谢秀红女士表示：中国在SiC后端器件的设计方面是一股新生力量，并且中国拥有非常多的科技人才，与其他国家相比，这些人才是非常新生的力量，虽然目前中国在功率器件领域与欧洲有一些差距，但中国的研发的速度、迭代的速度非常快，这些差距正在一点点缩小。

为了更好的服务中国市场，PVATePla专门针对中国市场推出了名为SiCN系列的晶体生长设备，SiCN中的CN代表中国，表明了其对于中国市场的诚意，该设备预计今年第二季度面向市场。

SiCN系列采用了德国设计与中国元素相结合的理念，以适应中国市场的需求，并保证德国的高品质标准。每一台设备都遵循同一标准，减少了调整和改动的需求，适合大规模生产。并且该设备采用数字化控制软件，操作界面直观，每一个工艺步骤都可数字化输入，保证工艺的一致性和优化。同时提供中央管理软件，实现对多台设备的集中监控与管理。

在能耗上，SiCN系列采用低功耗线圈设计，经过长期使用验证，能耗显著低于其他友商设备。设备的灵活性上，SiCN系列采用模组化设计，可以灵活兼容多种尺寸，如长6寸、长8寸等，而其他部件如架子、外形等保持不变，提高了设备的灵活性和适应性。同时在安全性上，SiCN系列本着以人为中心的安全设计理念，通过硬件和软件的互锁，确保了生产过程的安全性。

此外，SiCN系列提供定制化服务，关键部件和硬件可以根据客户需求进行定制化，满足不同客户的特殊需求。同时提供远程服务接口，方便德国工程师进行软件更新和错误诊断。

更为重要的是，SiCN系列为了保持整体技术水平的领先性，坚持设备的“四化”，即：技术团队本地化，服务制造国产化、供应链全球化（谁家好选谁的）、质量标准一致化（与德国保持一致）。

小结

作为一家全球性的半导体设备供应商，PVATePla在过去30年取得了十分不俗的成绩，这与其专注力，超前的战略布局密不可分。而在中国市场中，PVATePla也贡献了自己的力量，其及时把握市场机遇，助力高端设备国产化，与中国上下游产业链共同携手推动中国半导体产业链，尤其是第三代半导体产业链的发展。随着SiCN系列在今年二季度的推出，国产SiC衬底市场又将出现新的活力。

审核编辑：刘清