晶圆测量新利器：光谱共焦传感器优势解析

光谱共焦位移传感器和激光三角位移传感器在表面测量领域均占据重要位置，它们各自在测量物体厚度方面表现出独特的优势。尽管两者具备测量功能，但根据应用环境和所需精度，它们的适应性呈现出显著差异。 具体而言，光谱共焦位移传感器利用共焦光学系统与光谱分析技术的结合进行测量，这种配置赋予了它极高的测量精确度。此外，其非接触式的测量方式意味着不会对被测物体造成物理性损害，这一特性使其尤为适宜于透明或镜面反射类材料的测量，这类材料往往会其他传统测量工具带来困难。 与此相对照，激光三角位移传感器通过发射激光束至物体表面并监测反射光束的位置变化以计算物体的位移量，这种方法在漫反射型表面测量中表现良好。然而，面对透明或具有镜面性质的物体时，激光三角位移传感器的测量准确性往往不尽人意。 本文后续章节将深入探讨光谱共焦位移传感器在晶圆测量领域的应用优势，详细分析其在此类精密测量任务中的表现。

晶圆测量新利器：光谱共焦传感器优势解析

点共焦位移传感器对晶圆量测的技术和功能要求：

1.超高分辨率（纳米级）、亚微米级高精度，提高误检率

2.同轴光测量，不受光强和被测物表面材质影响，无测量盲区

3.软硬件一体化，支持多型号和多检测场景，帮助客户降低生产成本

4.测量精度高（μm级别精度）

5.角度适应性广

6.环境适应性强（如可能存在温度，机台震动，平台移动等环境因素）

7.高灵敏度，高信噪比光学的非接触测量

相比激光位移传感器点光谱共焦位移传感器有哪些优势：

1.分辨率高：理论上波长可以一直被细分，因此通过特殊镜头可以输出相当高的分辨率。

2.温度稳定性好：内部仅有镜头结构设计，镜头本身不发热，温度漂移小，对于微米以及亚微米测量，温漂是关键。

3.自动聚焦：在量程范围内，被测物的位置高度上下变动时都有相应的波长的光聚焦到物体表面，再反射回接收器。

4.横向分辨率高：从上到下被测物总是在焦点上，测量光斑极为微小，因此能分辨被测物上的微小轮廓变化。

5.模块化小型化：镜头和控制器可以通过光纤连接，传输距离远，镜头可以做得很小，便于并排安装。

6.调频抗干扰：波长是调频信号，对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。

7.全息性：理论上任意一束返回光谱分析仪的光线的波长都携带了距离信息，部分光被遮挡影响小。

8.安全性高：寿命长的LED光源，微小功率的白光，比激光对人眼安全，不受限于激光危害等级。

审核编辑 黄宇