真空泵数据采集远程监控系统解决方案

行业背景

半导体制造业可以说是现代电子工业的核心产业，广泛应用于计算机、通信、汽车、医疗等领域。而在半导体生产加工过程中，如刻蚀、 镀膜、 扩散、沉积、退火等环节，真空泵都是必不可少的关键设备，它可以构建稳定受控的真空环境，以避免产品出现污染、氧化或者其他缺陷，对于半导体产品的品质、寿命以及性能都有着不可忽视的影响。

为保证真空泵安全稳定运行，物通博联提供基于工业智能网关的数据采集远程监控系统，实现真空泵运行状态及工艺参数的在线监控与预警，从而帮助工厂及时采取措施，保证生产安全与产品质量。

行业痛点

数据采集困难：真空泵通常分布在生产现场或远程地点，传统的手动采集数据方式需要人工去现场抄写数据，工作量大，因此需要数据采集实现远程监控。

故障预警挑战：真空泵运行出现故障无法及时感知，一旦出现故障就会影响生产的稳定性和安全性，同时造成物料浪费，因此需要故障预警报警机制。

数据应用难题：真空泵产生的数据包括压强、温度、振动等多种参数，需要进行实时处理和分析，需要数据报表及展示分析渠道，实现提质增效、节能优化等。

解决方案

半导体工业正在逐步实现自动化生产，真空泵通过PLC自动化控制已经得到广泛应用，因此只需要将物通博联工业智能网关接入到PLC，就能实时采集PLC内真空泵的工作参数（压强、温度、振动等）并通过5G/4G/WIFI/以太网等方式上传到云平台或本地上位机，进而实现设备远程监控、故障报警、远程控制及远程维护等功能。

通过手机端和电脑端，工厂可以远程查看工艺组态画面，了解每台真空泵的运行状态、工艺参数、故障信息、运维记录等，从而实现及时管理控制，维护安全稳定的生产秩序。

系统功能

1、数据采集：系统可以实时采集真空泵的运行状态数据，如压强、温度、振动等，并将这些数据生成可视化图表，方便快速查询实时数据和历史数据。

2、组态监控：系统可以自定义云组态，在线查看每台真空泵工作状态和参数变化，支持自定义编辑，通过拖拉拽添加/删除控件，操作简单易懂。

3、远程监控：通过手机或电脑等智能终端，让用户可以随时随地查看真空泵的实时运行状态和历史数据，提高了设备的管理效率和生产效益。

4、异常处理：当真空泵出现异常情况时，系统会自动报警并记录异常信息，便于用户快速发现并解决问题，减少生产损失与物料浪费。

5、远程维护：工程师可以对异地PLC进行远程编程调试和远程上下载程序等操作，减少出差和花销，提高工作效率和售后服务质量。

6、数据分析：根据采集到的数据进行分析和处理，可以了解设备性能、能耗水平，也能预测可能出现的问题，采取措施进行管理优化，提高生产效率。

系统效益

通过对真空泵的实时监控和故障报警，实现对半导体芯片生成过程的真空环境进行精细控制，保证过程中的参数稳定正常，能够保证企业提高设备效率和可靠性，减少停工和维护时间，为企业带来更多的经济效益。

审核编辑 黄宇