XD605.X90一维大负载电容传感压电纳米定位台及配套电容闭环控制器

新年伊始，万象更新。芯明天持续深挖行业需求，攻克技术壁垒，推陈出新，为客户解决一个又一个精密定位技术的难题。

本次为大家介绍一款一维大负载电容传感压电纳米定位台-XD605.X90。产品外观如下图所示。

X向运动、大负载

XD605.X90可实现一维X向直线运动，行程可达到95μm，负载可达10kg，分辨率可达3nm，为大负载应用提供更优质的解决方案。

电容式传感器

XD605.X90闭环版本采用电容传感，闭环线性度可达0.021%F.S.，闭环重复定位精度可达0.005%F.S.，由于电容式传感器是根据两个电极之间的电容变化来测量物理量，所以它不受温度、磁场环境等因素影响，在精度、响应速度、稳定性、可靠性和成本方面具有很多优势。

三种位姿、易使用

XD605.X90它在使用放置方式上进行突破，可正立、侧卧、倒置三种位置使用，可满足更多设备或系统对负载位姿的要求。

产品应用

显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。

技术参数

型号	XD605.X90C/K
运动自由度	X
驱动控制	1路驱动，1路电容传感
标称行程范围（0~120V）	76μm
行程范围（0~150V）	95μm
传感器	CAP/-
分辨率	3nm
闭环线性度	0.02%F.S./-
闭环重复定位精度	0.005%F.S./-
俯仰	<5μrad
偏航	<5μrad
滚动	<5μrad
空载谐振频率	615Hz
带载谐振频率@5kg	310Hz
闭环阶跃时间@5kg	8ms@20μm
承载能力	正立10kg
	卧式5kg
	倒置10kg
静电容量	37μF
材质	铝合金
重量（含线）	5.7kg

配套控制器

E53.D1C-H系列压电控制器是一款模拟与数字式控制器，具有闭环伺服控制功能，是专为驱动配备电容式传感器的压电产品而研发设计。外形尺寸为148×125×27.5mm，供电为24VDC/1.5A。机身带有散热区域，可快速导出产生的热量，且体积小巧，易于集成。

XD605.X90C电容式压电平台与E53.D1C-H电容闭环压电控制器

审核编辑 黄宇