至纯科技：下半年订单飙升，湿法设备市场领跑

1月11日至纯科技发布公告称，公司今年新签订单额达132.93亿元，同比增长92.48%，连续五年-十五年长期订单金额高达86.61亿元。根据公司之前的数据显示，2023年年中以来新订单额急剧增加，同比增长超38%。截至2023年6月底，公司在手订单额53.23亿元，其中超过七成来自半导体领域，其余来自泛半导体和生物医药业。

至纯科技旗下的至微科技是国内湿法设备市场主流供应商之一，在28纳米节点实现了全覆盖，全工艺机台亦均有订单。在更为尖端的制程中，至微科技已有部分工艺获得订单。作为湿法设备中技术最为复杂的设备，至微科技的S300 SPM机台现已交付给众多国内龙头晶圆厂，并成功应用于12英寸逻辑量产线，每月产能可达6万片次以上。该设备累计产量已突破20万片次，是中国高阶湿法设备实现进口替代的重大突破。至微科技也是目前为止，国内能达到上述高端湿法设备量产标准的独家企业。

至纯科技在湿法设备应用于成熟制程的产品线扩展稳步进行，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的生产线中的渗透率不断攀升。虽然在先进制程中的高阶产品线受制于用户扩产进程稍显滞后，但在高温硫酸、FINETCH及单片磷酸等技术仍被国际厂商掌握的领域，至纯科技的交付和验证水平处于全国领先地位。