北京怀柔科学城老厂房孕育传感器产业，在建MEMS传感器中试生产线

新年伊始，怀柔古刹红螺寺附近，一座老厂房正加速蝶变。朝阳给一栋栋改造中的厂房镀上金色，也照亮了五百余位施工人员忙碌的身影。吊车吊起大块的玻璃、水泥板，施工人员通过直臂车被送至高处，将玻璃、水泥板呈百叶窗状交替安装至外墙。曾经的福田汽车老旧厂房在他们的手中悄然变了模样，外观看起来时尚现代，透着大气和科技感。

这里距离密集落子大科学装置、交叉研究平台等科技设施的怀柔科学城核心区仅10分钟车程，未来将成为怀柔科学城产业转化示范区。搬迁腾退的福田戴姆勒汽车老工厂，是产业转化示范区的首个项目，改造后产业空间达30万平方米，将依托科学城优势，重点引入高端仪器装备和传感器产业。目前，由福田工厂营销楼改造的创新中心已率先投用，三层空间主要吸引高端仪器装备和传感器产业链相关的初创企业。“园区改造和‘引凤’同时进行，已吸引164家企业注册，部分企业已入驻办公。”负责该园区运营的北京怀胜科技服务有限公司相关负责人介绍。

还有多栋厂房正加速蜕变。其中，A1栋工程项目近日刚刚获得北京市发改委批复项目资金申请。记者走进正在改造的A1厂房，这里曾是过去的涂装车间，在不改变原建筑结构的基础上，厂房已经完成加固、翻新，目前正进行外墙吊装施工，吊装进度达80%。“预计今年4月，这栋厂房就能基本完成改造，此后将由入驻企业开展内部装配、设备安装等工作。”相关负责人告诉记者，这栋厂房已被国内一家传感器龙头企业相中，将建造微机电系统（MEMS）传感器中试生产线。

除了提供用于办公、实验和中试生产的产业空间，园区的一大亮点是打造了高端仪器装备和传感器生产所必须配套的共享动力中心。“生产高端仪器装备或传感器，需要动力、纯水供应、化学品储存、大宗气体、特殊气体供应、废水处理等配套环节。园区斥资上亿元打造了供企业共享使用的纯水处理中心、化学品储存库、大宗气体站、特殊气体站、废水处理站等，并配建管道直通各厂房。”在纯水处理中心内，相关负责人指着正在安装的纯水设备介绍道：“这些设备就好像我们家里的净水器，只不过其过程更复杂，纯净度要求更高，要通过预处理、反渗透、再生与后处理等多重工序形成可用于传感器晶圆加工使用要求的超纯水。”

据悉，整个项目起步区大致分为A、B、C、D、E等工程项目，除了E栋厂房外，其他区域基本都将在今年上半年改造完成，未来将孕育高端仪器装备和传感器的“创新之花”。这一项目也成为怀柔科学城加速建设，产业化成果逐步涌现的缩影。

目前，怀柔科学城正跑步进入建设与运行并重阶段。科研设施方面，近期怀柔科学城又一大科学装置——多模态跨尺度生物医学成像设施试运行，设施将与周边科研设施协同发展，组织实施大科学计划。此外，29个“十三五”科技设施平台建设运行同步加速，6个“十四五”科技设施平台项目获批立项。去年，怀柔科学城新增9个科技设施平台项目进入科研状态，一批科技基础设施面向全社会开放共享，5个第一批交叉研究平台已累计对外开放机时45万小时。在科研成果方面，截至目前，怀柔科学城服务院所高校累计产出重大科技成果200余项。

审核编辑 黄宇