激光驱动白光光源LDLS产品系列

对于生命科学和材料科学的研究人员来说，一个可以提供超高亮度和宽带光谱的光源是必不可少的。以前，为了达到宽光谱的需要，多采用复合光源的方式，将氘灯、氙灯、卤钨等等等集成在一起作为灯组来使用。但是,集成这些灯来实现宽光谱的灯组极大地增加了成本,影响了使用效率。这些传统的使用电极驱动的灯源, 由于高温的烧蚀，灯的寿命很短，需要经常更换灯泡。为了解决灯泡寿命过短的问题，Energetiq公司创造性地研发了激光驱动等离子体气体发光的技术，即激光驱动光源技术(LDLS™=Laser-Driven Light Source)。这个技术不但解决了灯泡寿命短的问题，还同时大幅提高了气体燃烧温度，从而输出光谱范围拓展到170nm 到2100nm ，辐射亮度和稳定度也极大提升，使LDLS光源成为传统电极驱动灯组光源的完美替代品。

激光驱动白光光源(Laser Driven Light Source)，简称LDLS，是一款利用高能聚焦激光束来驱动氙等离子体的超高亮宽光谱光源。该系列产品不仅可以在170 nm至2100 nm的光谱范围内提供超高发光亮度，比如在DUV的亮度就是传统光源如氙灯的10倍以上，而且整个光源的发光寿命相比较于传统光源也高出了整整一个数量级(>9000 h)。

图2 LDLS及相关模块化产品一览

根据使用环境和输出功率的不同需求，可以选择不同型号的LDLS光源进行匹配。其中，LDLS光源提供自由空间输出或光纤耦合输出的紧凑型EQ-99系列、自由空间输出的EQ-9系列、高亮度自由空间输出的EQ-77系列、高功率应用的超高亮度EQ-400系列。(见表2)

表2 LDLS光源主要产品

此外还提供高亮度输出波长可调窄光谱LDTLS系列(见表3)，以及2022年还发布了新的可以精准控制输出光谱特性的CES光源(Chromatiq Spectral EngineTM)点击此处可了解该产品。

表3 LDTLS系列光源主要产品

审核编辑：汤梓红