雷尼绍XL-80激光干涉仪特性浅析及应用案例-电子发烧友网

一、校准是过程控制的基础

现代工业需要满足日益严格的公差、客户计划以及国际质量标准的要求。与此同时，还要承受降低成本的压力，因此生产设备的工作性能受到前所未有的重视。

二、激光干涉测量可提供最精确和可重复的校准方法

激光干涉测量

使用光的波长作为测量单位的基本原理在19世纪80年代左右开始提出。从那以后起，这一原理虽然历经发展和完善，但始终以测量光波干涉为依据，因此得名“干涉测量”。

激光系统射出的光波具有三种主要特性：

• 已知精确波长，可实现准确测量

• 波长非常短，可实现精确或高分辨率测量

• 所有光波相位相同，可根据已知的基准进行测量

干涉测量是一种相对运动测量（从初始位置开始测量），而不是一种绝对测量（从特定位置开始测量）。不同的光学镜组将激光光束穿过不同的路径，可从单个激光装置进行多种模式测量（例如，线性、角度、直线度）。

环境补偿

无论您的激光装置多么准确和稳定，激光的测量波长都会因其传播环境而改变。气温、气压和相对湿度的任何变化都将导致测量误差。

若没有可靠准确的波长补偿，即使在典型的环境条件下，也常常会出现20 ppm（百万分之一）的线性测量误差。通过应用精确的环境补偿，可将这些误差降至±0.5 ppm。

雷尼绍激光干涉仪

三、雷尼绍XL-80激光干涉仪助您提高企业效益

XL-80系统运行速度快、结果精确，而且非常轻便，因此它成为畅销的激光校准系统毫不为奇。XL-80采用先进的软件解决方案，具有优异的性能，可帮助您显著提高企业效益。

精度和动态性能：精确稳定的激光源和准确的环境补偿，保证了±0.5 ppm的线性测量精度。XL-80能够以高达50 kHz的频率读取数据，最高线性测量速度可达到4 m/s，即使在最高速度下线性分辨率仍可达到1 nm。所有测量选项（不只是线性）均采用干涉法测量，您可以对所记录数据的精度完全放心。

充满信心：优异的设计、质量和技术支持是雷尼绍的标志性特征。无论是微米级测量还是纳米级测量，先进的技术和产品质量保证都极为重要。标准的三年保修期和全球支持网络体现了我们对用户的承诺。

使用方便：XL-80的设定和使用快速简便，可减少等待时间并增加测量时间，同时仍具有纯粹干涉测量系统的高精度优点。激光干涉仪和补偿器均可通过USB与计算机连接，因此无需单独的接口，也不必担心复杂的设定。

便携性：XL-80激光和XC-80补偿器体积小巧，这意味着一整套线性测量系统可装在一个“便携箱”中，仅重12公斤。再加上一个三脚架（装在布质拉链便携箱中），您就拥有了一套真正便携的机器测量方案。

雷尼绍激光干涉仪

四、雷尼绍XL-80激光干涉仪特性与优点

激光稳频精度：通过热控制技术将激光管的长度变化控制在几纳米的范围内，使精度在3年内保持在±0.05 ppm（百万分之一）。

线性测量精度：在整个环境范围内，即在0 ºC - 40 ºC（32 ºF - 104 ºF）和650 mbar - 1150 mbar的范围内，精度为±0.5 ppm。XL-80能够以高达50 kHZ的频率读取数据，最高线性测量速度可达到4 m/s，即使在最高速度下线性分辨率仍可达到1 nm。

集成式USB：意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。

LED状态指示灯：位于激光头前部，可显示激光状态和信号强度，相当于将软件屏幕上的“状态显示”功能扩展到激光头上。

灵活切换：标准 (40 m)和长 (80 m)距离模式。

模拟I/O端口：许传输模拟信号输出和触发信号输入。

预热时间：少于6分钟。

外接开关电源：允许输入电压在90V - 264 V之间变化。

CARTO软件包：可以进行线性、角度、回转轴、直线度和垂直度测量。但其他测量模式则需要使用LaserXL软件。

四、雷尼绍XL-80激光干涉仪参数