激光干涉仪：解锁协作机器人DD马达的精度密码

当协作机器人需要执行微米级的精密任务时，一个隐形挑战浮出水面：如何确保其核心动力单元DD马达的旋转精度达到角秒级？答案藏在一束激光的干涉条纹之中。

解决方案：

SJ6000激光干涉仪+角度反射镜组+WR50自动精密转台，测量精度：±1″；分辨力：0.01″。

DD马达旋转角度测量示意图

测量流程：

将WR50自动精密转台固定在马达轴心，其顶部反设镜可相对基座反向旋转，反射镜始终与激光束角度锁定在0.5度内，转台每旋转5°，反射镜即反向旋转5°，此时软件将WR50的精密圆光栅角度值和SJ6000的角度值进行合并计算，得出马达实际转动的角度。

激光干涉仪测量结束后自动进行补偿，确保DD马达旋转精度符合要求。

补偿前数据

补偿后数据

从汽车工厂的装配线到无尘室里的芯片制造，协作机器人正以人类般的灵巧重塑产业。而在这背后，是以激光干涉仪为代表的精密测量仪器的默默守护，为协作机器人的安全高效精准运行保驾护航。