工信部就干法刻蚀设备测试方法等行业标准公开征集意见

据工信部网站11月16日消息，工信部公开征集了《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196个行业标准、1个行业标准外文版、38个推荐性国家标准计划项目的意见。根据标准化工作的总体安排，公信部将公布目前申请项目批准的《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196个行业标准，《雪莲养护贴》等1个行业标准外文版项目和《环境污染防治设备术语》等38个推荐性国家标准计划项目。截止日期为2023年12月16日。

其中《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》对主要起草单位中国电子科技集团公司第48研究所、中国电子技术标准化研究院、湖南楚微半导体科技有限公司，中芯国际集成电路制造有限公司，北京北方华创微电子装备有限公司，中微半导体设备（上海）有限公司，合肥晶合集成电路股份有限公司等。