三维磁场探针台T8-500-3的技术指标

北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台，采用无磁材料制成，采用亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间多维磁场。线圈可采用自然冷却（磁场较小）或水冷结构（磁场较大），标配线圈过热保护装置。配合高精度双极性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

技术指标：

型号：T8-500-3

材质：所选材料均为无磁材质

磁场范围：500Gs

线圈材质：耐高温漆包线

磁场均匀性：中心区50毫米球体内1%

电源稳定性：三台高精度直流电源50ppm可选10ppm

磁场分辨率：0.05 mT

角度分辨率：0.02°

样品固定方式：吸盘或者压片

样品台直径：50mm可定制

显微镜：X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm，可选加载激光

放大倍数：16~100X/20~4000X

探针臂数量：2、4可选

探针臂行程：25mm-25mm-12mm可更换

探针臂移动精度：10μm /2μm/1μm/0.7μm可选

探针长度：38mm

探针直径：0.51mm

针尖直径：10μm/5μm/1μm

探针材料：钨/铍铜/GGB

漏电精度：100fA

审核编辑 黄宇