加工条件不明确，选刀难免有偏差

在晶圆划切过程中，不仅需要选择合适的划片刀，而且要关注加工条件的优化。合适的划片刀和良好的加工条件，对于获得好的切割效果起着至关重要的作用。

上期我们已经分析划片刀选型的几个关键因素，本期关注加工条件的影响。

加工条件主要涉及以下几个方面：

主轴转速

进给速度

冷却水

主轴转速

刀片固定在划片机主轴上，以非常高的速度旋转，通常在每分钟25000至60000转之间，这就是我们通常所说的主轴转速。主轴转速是影响切割效果的关键因素之一。

在相同转速下，刀片外径不同，外圆线速度也不同。不同外径的刀片为了获得相同的外圆线速度，必须调整主轴转速，以保证切割质量及稳定性。

当主轴转速增加时，金刚石的加工负荷减少，从而提高刀片寿命，同时降低了被切产品正面崩边产生的风险。但是，金刚石加工负荷减少会阻碍刀片自锐，导致被切产品背面崩边发生率的增加。

降低主轴转速，加速刀片自锐，是减少被切产品背面崩边发生率的有效措施之一。

相同切割条件下，主轴转速越高，被切产品正面崩边尺寸越小，背面崩边尺寸则越大，刀片蛇形切割的发生概率也越高。

为了使被切产品保持良好的切割质量，并达到预期的使用寿命，有必要根据被切产品的材料情况、刀片规格和加工质量要求对主轴转速进行合理选择。

进给速度

在切割过程中，我们移动台盘来实现切割速度的变化（1-300mm/s）。大家都知道工厂生产中，效率意味着成本。切割速度越高，效率越高。但是往往切割速度越高，刀片负载越高，切割品质会越差。因此优化切割速度实现高效率高品质的生产至关重要。

高进给速度下，每颗金刚石的负载也会增加，对崩边产生较大影响，同时，进给速度会影响刀片寿命。

进给速度越慢，背崩尺寸越小，刀片寿命越长。相反，进给速度越快，背崩尺寸越大，刀片磨损加大，刀片寿命也就越短。

冷却水

由于在划切中主轴高速旋转，在切割材料时，刀片与材料的接触处会产生很高的温度，稳定的划切冷却水流量，不仅在划切过程中可以起到冷却刀片的作用，还可以防止电击、电弧现象发生，同时冲掉划切过程中碾碎的碎粒，减少芯片表面的碎屑污染，提高划切品质。

划切冷却水，主要采用去离子水，可根据产品需要增加特殊附件，例如二氧化碳气体，以改变水质电阻值等。

冷却水的流量和温度达到稳定时，划切品质才能达能最佳。冷却水流量的调节，包括喷嘴方向、高低、流量大小的调节。只有保证了足够的冷却效果，才能有效控制划切崩裂。

结合以上加工条件以及上期划片刀的几个关键因素，有硬脆材料切割需求的朋友们，大致就能了解自己需要的刀片了。情况复杂需要更多技术支持的时候，别忘记咨询深圳西斯特科技有限公司。

西斯特科技

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