解决方案|半导体晶体生长测温

场景 半导体晶体生长测温

要解决的问题

还原炉应用中，需多点位测温，有的点位位置较高对准目标比较困难。

升温过程中，材料状态可能发生变化，导致发射率随之发生变化导致测温失准。建议使用双色测温仪。

直拉法应用中，一般集成于内部温控系统，安装空间有限。建议使用分体光纤式设备。

需透视窗测量反应物。建议使用近红外短波测温。

场景特点 SCENE FEATURES01

反应温度需维持在高温状态（还原炉约1080℃、直拉法约为1500℃）。

02可能有较强的电磁干扰，需要使用分体式光纤设备。03

熔融石英坩埚内部反应。

04

腔室内填充保护性气体。

解决方案核心优势IGAR 12-LO（分体光纤测温仪）

在高温/高压/电磁场等环境中，只放进一个测温镜头，通过光纤传输光信号，最大程度的减少了环境的干扰项，保证测量的准确无误。

测温范围全覆盖（300~2500℃）。

高精度，最小可精确读数到0.5%+1℃。

极短的响应时间（2ms）。

极小的光斑尺寸（最小为0.45mm）。

光纤探头耐温高达250℃。

诊断功能。

双色/单色、0/4-20mA、RS232/RS485均可切换。

IGAR 6-TV

具有直观的视频模式，且接线简单。

可记录视频实时图像或视频，多种格式储存。

测温量程全覆盖（100~2000℃）。

高精度，最小可精确到读数的0.4%+2℃。

可变焦镜头，可调节测距（可从210至2000mm内测温）。

设定内可调多种参数，使用多种环境需求。

技术参数

型号	IGAR 12-LO	IGAR 6-TV
温度范围	300...3300℃	100...2000℃
测量波段	1.52...1.64μm	波段1: 1.5...1.6μm; 波段2:2.0...2.5μm
响应时间	2ms	2ms
测量精度	读数的0.5%±1℃（<1500℃） 读数的0.7%±1℃（>1500℃）	测量值的0.4%±2℃（<1500℃） 测量值的0.8%（>1500℃）
重复性	读数的0.3%+1℃	测量值的0.2%+1℃
瞄准方式	同轴激光瞄准	视频瞄准，彩色图像。带有瞄准指示光圈