陆芯半导体切割机：精密划片机维护及保养

精密划片机是一种高精密设备，精度的稳定性、使用的安全性及可靠性都与工作的环境、维护保养息息相关。

1 、环境与外围要求

划片机必须安装在无振动源，室内温度为 20 、25 摄氏度的净化间内，并配有气源、水源、电源、排污口、抽雾装置等。

气源要求是经过过滤、冷凝、卜燥洁净的压缩空气，压力不低于 0 . 5 入 IPa ，过滤精度大于 0 . 01 " m ，露点一 15℃ 、除去油分 99 . 5 ％。

主轴冷却水建议用去离子水，压力不低于 0 . 2 即 a ，流量大于 1 . SL / min ，温度保证在 20 ℃ 士 1 ℃ ，应保证主轴热稳定性好。

刀片冷却水建议压力不低于 0 . 2 凡护 a ，流量大于 2 . 0L / min 。电源电压 38ov 土 10 % , 50 / 60112 ，电压波动不能超出该范围，若超出会给主轴变压器工作带来困难。设备必须安全可靠接地。

2、注意事项使用操作设备前仔细阅读使用说明书。维护与保养的人员必须是受过相关培训合格的人员。维修之前必须断开电源，在电源关断 smin 后方可打开设备。等主轴完全停止后，再关气源、水源，切忌无气时用手转动主轴。

不要把东西遗忘放在运动部件或设备中。

未经制造商授权或确认不要改动原有结构及功能。

3 、定期保养

3 . 1 天检查检查供给气源、水源压力传感器。

主轴手拨转动情况。

夹刀法兰是否有划痕和污物。

吸盘有无划痕或损伤。

急停开关的好坏。切割区防水罩有无破损以及密封处有无渗漏。清洁主轴头部划切带上的粉尘。

清洁切割区污物，并用气枪吹干吸盘及周围水分。

3 . 2 月检查

夹刀法兰情况。

吸盘的平整度。

3 . 3 半年检查 x 向、 y 向、 z 向导轨润滑情况并加润滑脂。

刀架的紧固情况。

主轴冷却水路。

3 . 4 每年检查检查 x 向水平、垂直方向的直线性。

检查主轴刀架端面与 x 轴的平行度。

检查主轴径向、轴向跳动。

Z 轴同步齿形带的调整。

清洁真空发生器。

清洁非接触测高传感器。

清洁刀体破损检测器。

检查光源灯箱中的卤素灯，建议更换。

检查空气过滤器和微雾分离器的滤芯，建议更换。

检查主轴碳刷，建议更换。

检查切割区导轨防水罩，建议更换。

流量计调节灵活准确性。

更换操作键盘面膜。

更换对准照明用的发光二极管。

上述只是就维护与保养浅谈了一些建设性建议，还需不同的用户根据具体使用情况在总结。维护保养做得好，设备就可以长期健康高效的为用户提供生产保证。切忌不对设备定期保养和维护，只等有了问题解决，这反而会影响紧张的生产，更可能增加维护保养的难度和成本。