晶圆切割机：硬脆材料划片机的工艺参数研究！

硬脆材料划片的实现依赖于锐利的金刚石刀片和高精度、高刚性的划片装置，以及高精度的空气静压主轴等来实现。在了解硬脆材料的性能和划片机理的基础上，作为设备制造厂家对硬脆材料划片工艺的研究，就显得十分必要和紧迫，对工艺参数的研究和优化，能够支持设备及半导体行业的发展。

砂轮划片机的划片质量和划片效率，与划片工艺参数有十分密切的关系．在划片硬脆材料中，划切道宽度与崩边的大小，主要是受主轴转速、刀片、划片速度、划片深度、冷却方式等工艺参数的影响。所以本研究主要是研究工艺参数最佳化，从划片质量、划片效率、刀片磨埙以及邓命上综合考虑，得出经济适用的工艺参数。

具体研究内容包括以下几个方面：

( 1）砂轮划片机划切性能的研究。

( 2）金刚石砂轮刀片的特性分析研究。

( 3）划片工艺参数主轴转速、划片速度、划片深度和冷却流且等对划片影响的研究。

( 4）采用田口实验法，用正交实验对多种可控因素进行定量研究，对实验数据进行处理，得到优化的工艺参数，并进行实验验证。

( 5）设备的功能完善和改进，使设备更好地满足工艺要求。