莱伯泰科新型质谱仪助力芯片厂商提升良率

来源：《半导体芯科技》杂志

北京莱伯泰科仪器股份有限公司发布针对半导体行业研发生产的电感耦合等离子体三重四极杆质谱仪LabMS 5000 ICP-MS/MS。

LabMS 5000 ICP-MS/MS采用工业标准27MHz固态发生器，具有极高的系统稳定性；使用MS/MS模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检出限和准确的超痕量分析结果；低背景惰性进样系统集成气体稀释和加氧功能，极大扩展检测应用范围；智能软件平台HiMass，适用于实验室的各种分析需求，极大提高工作效率。

LabMS 5000 ICP-MS/MS可用于监控半导体硅材料、第三代半导体材料、湿电子化学品、电子特气、制程溶剂/光刻胶等的无机元素污染，已通过半导体行业SEMI S2、SEMI E78认证，助力半导体芯片制造商控制产品质量，提升良率。

莱伯泰科是从事实验分析仪器研发、生产和销售，提供洁净环保型实验室解决方案以及实验室耗材和相关服务的高新技术企业，打造的国产电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）系列品牌，广泛应用于半导体、生命科学、新能源等领域。

莱伯泰科2021年已经对外发布了电感耦合等离子体质谱仪LabMS 3000 ICP-MS并在多个领域实现了产品销售，首次实现了国产ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪）在半导体行业芯片生产线上的应用，打破了国外产品的长期垄断。本次发布的新品是在LabMS 3000 ICP-MS产品的基础上推出的全新一代三重四极杆质谱仪，主要用于无机元素检测。目前国内半导体行业用于无机元素检测的三重四极杆质谱仪以进口产品为主，该产品能够实现国产替代。

莱伯泰科表示，新产品的发布进一步丰富了公司分析测试仪器产品线，拓宽了公司产品的应用领域，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力。目前，该新产品已取得订单并实现发货。

审核编辑：汤梓红