中国半导体厂商再引入ASML光刻机！

近日，上海鼎泰匠芯科技有限公司（以下简称“鼎泰匠芯”）洁净室交付，首台ASML光刻机设备搬入。

鼎泰匠芯专注于车规级半导体产品及通讯终端芯片的开发及制造，其控股股东闻天下也是A股上市公司闻泰科技的控股股东据此前官方介绍，该项目总投资超120亿元，项目建成后可实现年产能约36万片12英寸功率器件晶圆片，主要用于MOSFET等功率器件产品的生产，产品可以广泛应用于消费，通讯，汽车，医疗，工业等电子产品领域，填补中国在车规级半导体领域的诸多空白。

临港新片区管委会高科处副处长王佩华表示，鼎泰匠心项目作为上海市重大建设项目是中国首座12英寸车规级工艺半导体晶圆厂，有利于临港新片区完善集成电路产业生态 ，支撑上海向世界级集成电路产业集群不断迈进。

值得一提的是，除了鼎泰匠芯，总投资22亿美元的格科微12英寸CIS集成电路半导体项目也曾在今年年初迎来ASML先进ArF光刻机设备的搬入。

ASML：中国大陆是半导体行业的重要参与者，不能被忽视

众所周知，光刻机是光刻工艺的核心设备，也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备，被誉为半导体制造设备的“皇冠”。光刻的主要作用是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上，是芯片制造的核心环节。

而作为全球半导体设备光刻机龙头，ASML也非常重视在中国的发展。据ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波介绍，自1988年至今，ASML在中国大陆的全方位光刻解决方案下的装机量已超过1000台，相应的员工数量也超过了1500人。

据2021年全年财报显示，中国大陆已是ASML第三大市场，约占其2021年全球营业额14.7%（即27亿欧元），2021年中国大陆的出货量占其全球出货量的16%。2022年第二季度，ASML设备在中国大陆市场的收入约为4亿欧元，预计全年来自中国大陆市场的收入将同比增长10%左右。

此外，ASML高管也曾多次强调中国市场对ASML以及全球半导体市场发展的重要性。

7月，ASML首席执行官彼得·韦尼克（Peter Wennink）在披露二季度财报时表示：中国大陆是半导体行业的重要参与者，是全球市场非常重要的供应商，尤其在更成熟的20nm到65nm，这些节点都与DUV有关，无论是干式DUV还是浸没式DUV。世界不能忽视“中国半导体产能对全球电子产业的重要性”。

今年10月，ASML在三季报中表示，根据初步评估，美国新颁布的出口管制条例并未修订ASML从荷兰运出光刻设备的规则，预计其对ASML 2023年整体出货计划的直接影响有限。换言之，ASML可照旧继续向中国出货非EUV光刻机。

审核编辑 ：李倩