为何半导体和面板行业需要加热马甲-电子发烧友网

安装加热马甲的前因

由于半导体生产常常需要使用各种化学气体，这些气体也会随着工艺的过程，由真空泵从反应腔体抽出，形成各种有毒有害的工艺尾气，这些气体如直接排到大气中就会形成大气污染。所以半导体生产厂家都需要对工艺设备尾气进行有效的处理，以减少对环境的污染。因此，在半导体制造机台中，尾气处理装置是半导体加工中的必备工具。在等离子体干法刻蚀过程中，气体供给口提供的气体主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，经过在真空反应室内的一系列反应后，气体排出口排出的尾气主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾气极易在室温下结晶，因此尾气处理过程中结晶体会附着在排气管的管壁上，极易对排气管进行堵塞，同时造成排气管的损伤。此过程会造成尾气处理不彻底，同时提高生产成本。

需要加热马甲的部门

DIFF、ETCH、CVD、EPI部门，Pumping line和Pump exhaust管路需加装加热夹套。

加热马甲作用

通过升高管路工作温度，减少管内介质结晶，避免管路堵塞，减少PM周期，提高产能。

加热马甲温度要求

PVD：150°-170°（也有180°） ETCH：80°-120°

加热马甲常见问题（摩尔机电）

问题1：为什么是120度不是90度不是200度？

答：Display(面板) Etch部门以IPS和INVENIA 设备为例，常规设备工艺废气凝固点是80度和120度，所以一般设定120度。特例半导体行业存储工艺PVD工艺需170度( O-ring得耐高温全氟产品)，武汉某厂就使用180度（原因PUMPLINE弯头比较多，同时管道尺寸多数为4寸-6寸）。而无锡某外资12寸FAB只需要150度。（此公司要求管道以6寸为主，新FAB管道多数为直管，老FAB最多2个45度弯头）厦门某面板厂某些设备，现场实际情况，160度的情况下，管道结晶比较少，PM周期可以延长。

不过现在国内大多PVD 为150-170度，Etch 80-120度.

问题2：加热带是否均带UPS电源？是否可以停电停电有什么风险在？

答：没必要一定配备UPS电源，停电后加热系统停止工作，管内介质会加速结晶，但是短时间（2-3天内）不至于引起堵塞宕机，有充足的维修缓冲时间。

问题3：如何防止超温一直加热问题发生假设有超温一直加热发生有什么后果业内是否有案例？

答：加热设定和温感反馈双重温控，温度变化（低/高）、故障都有报警，无持续升温案例发生。

问题4：排风系统是否需要安装加热夹套

答：废气经Scrubber处理大部分易结晶物质，且排风系统管径相对较大，不易堵塞；出于成本考虑，排风系统一般不加装加热夹套。

问题5：加热带材质是什么材质，哪些种类可选，怎么选？

答：①加热夹克内外均为不燃材质，外层为耐高温特氟龙涂层布，一般用于Pumping line管路。

②加热带为硅胶裹覆，外包阻燃橡塑保温棉，一般用于Gas line。

问题6：加热夹克的维护保养流程是什么样的，平时做哪些点检？是否有寿命周期等等。

答：①因加热夹克安装后的工作装为静态，不需特殊维护保养，只需进行每日点检即可。监控报警或点检中发现部分单元故障，可更换备品，产品设计便于拆装，更换简单。