用于诸如放大器、混频器和滤波器等电路的晶圆级测量的测试系统的规范化会颇具挑战性,特别是当单个晶圆可容纳多种电路类型时,为验证这些结构所需进行的测试是广泛且复杂的,包括 S 参数、DC 参数、噪声指数、增益压缩和互调失真。测量和校准准确度是至关重要的,尤其是在必须使多个流程之间的测试相互吻合的场合。
MeasureOne 优势
- 有保证的系统配置、安装和支持
- 准确和可重复的晶圆级产品特性分析
- 经过预先验证的系统配置
- 按照规定的验收标准进行安装
- 由专门的联系人提供客户支持
- 由解决方案专家帮助实现优化
解决方案组件
- Cascade 200 mm或300 mm半自动探针台系统,WinCal XE校准软件,Infinity探针和ISS标准校准片
- Keysight Technologies PNA 或 PNA-X、B1500A、WaferPro-XP、IC-CAP 软件和 DC 功率分析仪
审核编辑:符乾江
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