中国大陆成ASML最大市场 价值2亿的DUV光刻机卖到哪去了？

电子发烧友网报道（文/黄山明）近日，荷兰***大厂ASML公布了其2022年一季度的财务报表，从财报中看，总净销售额为35.34亿欧元（约合246.79亿人民币），同比下降19%，净利润达到6.95亿欧元（48.53亿人民币），同比下降47.8%。值得注意的是，中国大陆目前已经占到了ASML设备销售额的34%，较2021年第四季度的22%有了大幅上涨，而中国台湾地区占比从51%暴降至22%。

ASML的CEO彼得·温宁克（Peter Wennink）表示，ASML一季度的净预定量达到了70亿欧元，其中包括0.33NA及0.55NA EUV系统的25亿欧元，以及非常强劲的DUV需求。DUV的订单的高需求，也反映了当前对先进和成熟节点的持续高需求。

中国大陆成为ASML最大市场

ASML作为全球知名的***生产商，占据绝大部分市场份额，2020年数据显示全球***市场中，ASML占有63%的市场份额，其次为佳能（占比30%），尼康（占比7%）。并且在EUV（极紫外）***中，ASML目前处于绝对垄断地位，全球只此一家，别无分号。

而***的重要性相信在许多报道中都已经提到，这里简单说一下，***，又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是芯片制造过程的核心设备，也是光刻胶材料研发的重要装置。

其中EUV***专用于生产7nm及以下制程的芯片，准备向先进制程工艺挑战的厂商基本都采购ASML的***，如英特尔、台积电、三星等。***设备不仅重要，还很昂贵，据晶瑞电材的集成电路制造用高端光刻胶研发项目信息显示，设备及安装费用占总投资额的69%，其中***就占设备及安装费用的44%。

那一台EUV***的价格有多贵呢？有数据显示，自2018年以来，ASML的EUV***价格水涨船高，到了2021年7月份，价格达到了1.54亿欧元/台，约合每台价格达10.8亿人民币。而今年一季度，单台EUV***价格为1.98亿欧元，约合人民币13.95亿/台。

即便是面对如此高昂的售价，温宁克表示，市场对ASML生产的***系统需求超过了当前产能，目前公司正在提高生产率并加快发货以应对需求。

从出货量来看，一季度ASML共销售62台光刻系统，包括59台新系统，以及3台二手系统，不过***的生产速度仍然难以追赶上订单规模。

这主要是由于在过去一年，半导体市场供应链受到疫情、贸易冲突等外部因素影响，同时下游需求旺盛，导致供不应求，让许多半导体厂商业绩上都迎来了大的上涨。同时，旺盛的需求也推动了台积电等晶圆代工厂的扩产计划，加大对***等半导体设备的采购力度。

据SEMI发布的报告显示，2022年全球前端晶圆厂设备支出预计将比去年同期增长18%，达到1070亿美元，其中晶圆代工厂的产线与产能增加是设备支出的主要来源，代表代工产业对于增长的稳定预期。

2022年一季度销售数据（图源：ASML）

值得注意的是，由于众所周知的原因，ASML公司只能出售给中国大陆除EUV***的其他产品，但即便如此，2022年一季度销售数据显示，中国大陆采购的设备销售额占比从22%大幅上涨至了34%，成为ASML的最大市场。

反观中国台湾地区，已经从51%降至22%，此外包括美国市场的光刻设备销售额，从2019年到2021年连续3年都呈现下降情况，下降幅度接近20%。中国大陆不仅成为ASML最大的市场，并且还是少有销售额大涨的市场。

有趣的是，在2021年ASML的CFO罗杰·达森（Roger Dassen）表示，尽管中国大陆公司是ASML的主要买家，但即便受到某些因素的限制，也不会影响到ASML的销售，他认为很可能会被其他地方的需求所取代，如美国、欧盟等。但看着今年一季度的数据，不知道达森是否还会这么想。

超过百台的DUV***都去哪了

从财报上来看，一季度共销售了62台***系统，其中3台为EUV设备，其他为DUV，按照中国34%销售占比来粗略计算，中国大陆市场一季度从ASML购买了22台设备。

ASML***年度销售数据（图源：ASML）

而在2021年ASML共出货309台***，其中EUV***为42台，ArFi***为81台，ArF***出货22台，KrF为131台，iline***售出33台。

2021年，中国大陆占ASML销售额的16%，粗略来算，2021年中国大陆共从ASML购买了79台DUV***。加上今年1季度的22台，中国大陆一年左右便从ASML购买了上百台DUV。

我们都知道EUV的价格高达十亿人民币以上，但ASML的DUV***也不便宜。按照其2021年销售数据来算，一台DUV平均售价达到0.28亿欧元/台（约合1.97亿人民币/台）。

国内能够购买如此昂贵设备的厂商并不多，那么这上百台的DUV***都去哪了呢？一种是出售给中国的晶圆代工厂，比如中芯国际等，尽管EUV***迟迟未交付，但DUV***并没有受到限制。虽然7nm制程工艺用EUV***为最佳选择，但DUV***同样能生产7nm芯片。

另一种则是卖给了国内拥有晶圆厂的大型半导体公司，用在他们的扩产计划中，如格科微在今年3月24日顺利将ASML的ArF***搬入了厂房，而这种设备是该公司12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目建设的关键节点。

还有一种则比较特殊，随着中美贸易摩擦的加剧，中国大陆半导体企业越来越多被美国拉入了所谓的“实体清单”当中，许多企业为了防止未来无法再购买到ASML的***产品，因此提前囤货。

最后一种则是随着中国***技术的发展，不仅是国内企业需要购买***，ASML也开始主动推销其***产品。ASML的CEO曾公开表示，如果不把***卖给中国，那么在几年时间内中国便会完全掌握这项技术，到时ASML可能会被中国的***企业打败。

在今年的2月份，ASML罕见地起诉了一家中国公司东方晶源，称其在中国市场销售可能侵犯ASML知识产权的产品，而东方晶源的关联公司XTAL，曾在2019年被美国法院判定侵犯ASML的知识产权。

东方晶源提供一款计算光刻产品（OPC），拥有这种技术芯片制造商才能制造出最新的技术节点。由于在光刻过程中，光的衍射以及感光层中的物理和化学效应会使***想要刻的图像变形，OPC可以帮助进行校准和优化。

如果有芯片厂觉得ASML的OPC不好，自然可以选择使用第三方提供的产品，两者就会形成竞争关系。或许是看到了国内在***领域技术的飞速发展，想要趁此机会多卖几台DUV，不仅能够获得更多的营收，还能减缓中国大陆***技术的发展。

写在最后

尽管ASML的CEO预计今年公司整体预计收入增长为20%，但还是需要看到，一季度营收与净利润都在大幅下降。一方面是由于一季度销售的产品都是提前预订的，而在2021年下半年，全球受到奥密克戎疫情的影响，对经济造成了极大的冲击，而ASML也不例外。

另一方面则在于EUV***的需求在大幅减少，财报中显示，一季度EUV***仅售出3台，但费用却越来越高，单台EUV***售价达到13.95亿人民币。即便财大气粗如台积电、英特尔等，也很难说这只是小钱。

同时，台积电、英特尔、AMD、ARM等大厂开始着手推广小芯片标准，在这一标准下芯片制造商可以在合适的情况下混合构建芯片，从而绕过了EUV***的需求。可以预见的是，在排除中国大陆后，市场中对于EUV的需求将越来越小。

而中国的DUV***技术也开始紧锣密鼓地发展当中，包括上海微电子、大族激光等许多优秀企业都在加紧研发当中，如大族激光近期透露旗下***产品已实现了小批量销售。如果国内的DUV市场再被中国企业抢夺，那么ASML的***又将卖给谁呢？

不过那时，中国国内市场该担忧的并不是封锁，要知道***尽管单价昂贵，但市场空间并不大，若是突然放开***购买限制，这对于投入重金研发***设备的企业而言，如果没有相关保护措施，将是会让不少企业血本无归。