中国大陆成ASML最大市场 价值2亿的DUV光刻机卖到哪去了？

电子发烧友网报道（文/黄山明）近日，荷兰光刻机大厂ASML公布了其2022年一季度的财务报表，从财报中看，总净销售额为35.34亿欧元（约合246.79亿人民币），同比下降19%，净利润达到6.95亿欧元（48.53亿人民币），同比下降47.8%。值得注意的是，中国大陆目前已经占到了ASML设备销售额的34%，较2021年第四季度的22%有了大幅上涨，而中国台湾地区占比从51%暴降至22%。

ASML的CEO彼得·温宁克（Peter Wennink）表示，ASML一季度的净预定量达到了70亿欧元，其中包括0.33NA及0.55NA EUV系统的25亿欧元，以及非常强劲的DUV需求。DUV的订单的高需求，也反映了当前对先进和成熟节点的持续高需求。

中国大陆成为ASML最大市场

ASML作为全球知名的光刻机生产商，占据绝大部分市场份额，2020年数据显示全球光刻机市场中，ASML占有63%的市场份额，其次为佳能（占比30%），尼康（占比7%）。并且在EUV（极紫外）光刻机中，ASML目前处于绝对垄断地位，全球只此一家，别无分号。

而光刻机的重要性相信在许多报道中都已经提到，这里简单说一下，光刻机，又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是芯片制造过程的核心设备，也是光刻胶材料研发的重要装置。

其中EUV光刻机专用于生产7nm及以下制程的芯片，准备向先进制程工艺挑战的厂商基本都采购ASML的光刻机，如英特尔、台积电、三星等。光刻机设备不仅重要，还很昂贵，据晶瑞电材的集成电路制造用高端光刻胶研发项目信息显示，设备及安装费用占总投资额的69%，其中光刻机就占设备及安装费用的44%。

那一台EUV光刻机的价格有多贵呢？有数据显示，自2018年以来，ASML的EUV光刻机价格水涨船高，到了2021年7月份，价格达到了1.54亿欧元/台，约合每台价格达10.8亿人民币。而今年一季度，单台EUV光刻机价格为1.98亿欧元，约合人民币13.95亿/台。

即便是面对如此高昂的售价，温宁克表示，市场对ASML生产的光刻机系统需求超过了当前产能，目前公司正在提高生产率并加快发货以应对需求。

从出货量来看，一季度ASML共销售62台光刻系统，包括59台新系统，以及3台二手系统，不过光刻机的生产速度仍然难以追赶上订单规模。

这主要是由于在过去一年，半导体市场供应链受到疫情、贸易冲突等外部因素影响，同时下游需求旺盛，导致供不应求，让许多半导体厂商业绩上都迎来了大的上涨。同时，旺盛的需求也推动了台积电等晶圆代工厂的扩产计划，加大对光刻机等半导体设备的采购力度。

据SEMI发布的报告显示，2022年全球前端晶圆厂设备支出预计将比去年同期增长18%，达到1070亿美元，其中晶圆代工厂的产线与产能增加是设备支出的主要来源，代表代工产业对于增长的稳定预期。

2022年一季度销售数据（图源：ASML）

值得注意的是，由于众所周知的原因，ASML公司只能出售给中国大陆除EUV光刻机的其他产品，但即便如此，2022年一季度销售数据显示，中国大陆采购的设备销售额占比从22%大幅上涨至了34%，成为ASML的最大市场。

反观中国台湾地区，已经从51%降至22%，此外包括美国市场的光刻设备销售额，从2019年到2021年连续3年都呈现下降情况，下降幅度接近20%。中国大陆不仅成为ASML最大的市场，并且还是少有销售额大涨的市场。

有趣的是，在2021年ASML的CFO罗杰·达森（Roger Dassen）表示，尽管中国大陆公司是ASML的主要买家，但即便受到某些因素的限制，也不会影响到ASML的销售，他认为很可能会被其他地方的需求所取代，如美国、欧盟等。但看着今年一季度的数据，不知道达森是否还会这么想。

超过百台的DUV光刻机都去哪了

从财报上来看，一季度共销售了62台光刻机系统，其中3台为EUV设备，其他为DUV，按照中国34%销售占比来粗略计算，中国大陆市场一季度从ASML购买了22台设备。

ASML光刻机年度销售数据（图源：ASML）

而在2021年ASML共出货309台光刻机，其中EUV光刻机为42台，ArFi光刻机为81台，ArF光刻机出货22台，KrF为131台，iline光刻机售出33台。

2021年，中国大陆占ASML销售额的16%，粗略来算，2021年中国大陆共从ASML购买了79台DUV光刻机。加上今年1季度的22台，中国大陆一年左右便从ASML购买了上百台DUV。

我们都知道EUV的价格高达十亿人民币以上，但ASML的DUV光刻机也不便宜。按照其2021年销售数据来算，一台DUV平均售价达到0.28亿欧元/台（约合1.97亿人民币/台）。

国内能够购买如此昂贵设备的厂商并不多，那么这上百台的DUV光刻机都去哪了呢？一种是出售给中国的晶圆代工厂，比如中芯国际等，尽管EUV光刻机迟迟未交付，但DUV光刻机并没有受到限制。虽然7nm制程工艺用EUV光刻机为最佳选择，但DUV光刻机同样能生产7nm芯片。

另一种则是卖给了国内拥有晶圆厂的大型半导体公司，用在他们的扩产计划中，如格科微在今年3月24日顺利将ASML的ArF光刻机搬入了厂房，而这种设备是该公司12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目建设的关键节点。

还有一种则比较特殊，随着中美贸易摩擦的加剧，中国大陆半导体企业越来越多被美国拉入了所谓的“实体清单”当中，许多企业为了防止未来无法再购买到ASML的光刻机产品，因此提前囤货。

最后一种则是随着中国光刻机技术的发展，不仅是国内企业需要购买光刻机，ASML也开始主动推销其光刻机产品。ASML的CEO曾公开表示，如果不把光刻机卖给中国，那么在几年时间内中国便会完全掌握这项技术，到时ASML可能会被中国的光刻机企业打败。

在今年的2月份，ASML罕见地起诉了一家中国公司东方晶源，称其在中国市场销售可能侵犯ASML知识产权的产品，而东方晶源的关联公司XTAL，曾在2019年被美国法院判定侵犯ASML的知识产权。

东方晶源提供一款计算光刻产品（OPC），拥有这种技术芯片制造商才能制造出最新的技术节点。由于在光刻过程中，光的衍射以及感光层中的物理和化学效应会使光刻机想要刻的图像变形，OPC可以帮助进行校准和优化。

如果有芯片厂觉得ASML的OPC不好，自然可以选择使用第三方提供的产品，两者就会形成竞争关系。或许是看到了国内在光刻机领域技术的飞速发展，想要趁此机会多卖几台DUV，不仅能够获得更多的营收，还能减缓中国大陆光刻机技术的发展。

写在最后

尽管ASML的CEO预计今年公司整体预计收入增长为20%，但还是需要看到，一季度营收与净利润都在大幅下降。一方面是由于一季度销售的产品都是提前预订的，而在2021年下半年，全球受到奥密克戎疫情的影响，对经济造成了极大的冲击，而ASML也不例外。

另一方面则在于EUV光刻机的需求在大幅减少，财报中显示，一季度EUV光刻机仅售出3台，但费用却越来越高，单台EUV光刻机售价达到13.95亿人民币。即便财大气粗如台积电、英特尔等，也很难说这只是小钱。

同时，台积电、英特尔、AMD、ARM等大厂开始着手推广小芯片标准，在这一标准下芯片制造商可以在合适的情况下混合构建芯片，从而绕过了EUV光刻机的需求。可以预见的是，在排除中国大陆后，市场中对于EUV的需求将越来越小。

而中国的DUV光刻机技术也开始紧锣密鼓地发展当中，包括上海微电子、大族激光等许多优秀企业都在加紧研发当中，如大族激光近期透露旗下光刻机产品已实现了小批量销售。如果国内的DUV市场再被中国企业抢夺，那么ASML的光刻机又将卖给谁呢？

不过那时，中国国内市场该担忧的并不是封锁，要知道光刻机尽管单价昂贵，但市场空间并不大，若是突然放开光刻机购买限制，这对于投入重金研发光刻机设备的企业而言，如果没有相关保护措施，将是会让不少企业血本无归。