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芯片制造工艺的制造流程

倩倩 来源:百度经验,失效分析,3 作者:百度经验,失效分 2021-12-08 11:41 次阅读
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芯片,又称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)、集成电路(英语:integrated circuit, IC),是指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分。

芯片不是天然长出来的,也不是宅男用电脑打印出来的。它的诞生,是个复杂漫长的旅行。简单来分,芯片制造过程有这么几个阶段:材料制备——单晶硅制造→晶圆片生成芯片前端——芯片构建(Wafer Fabrication)芯片后端——封装(Package)→完整测试(Initial Test and Final Test)

芯片的原料晶圆,晶圆的成分是硅,硅是由石英沙所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将些纯硅制成硅晶棒,成为制造集成电路的石英半导体的材料,将其切片就是芯片制作具体需要的晶圆。晶圆越薄,成产的成本越低,但对工艺就要求的越高。

小编将为大家介绍一下其制造流程:

1.制作晶圆。使用晶圆切片机将硅晶棒切割出所需厚度的晶圆。

2.晶圆涂膜。在晶圆表面涂上光阻薄膜,该薄膜能提升晶圆的抗氧化以及耐温能力。

3.晶圆光刻显影、蚀刻。使用紫外光通过光罩和凸透镜后照射到晶圆涂膜上,使其软化,然后使用溶剂将其溶解冲走,使薄膜下的硅暴露出来。

4.离子注入。使用刻蚀机在裸露出的硅上刻蚀出N阱和P阱,并注入离子,形成PN结(逻辑闸门);然后通过化学和物理气象沉淀做出上层金属连接电路。

5.晶圆测试。经过上面的几道工艺之后,晶圆上会形成一个个格状的晶粒。通过针测的方式对每个晶粒进行电气特性检测。

6.封装。将制造完成的晶圆固定,绑定引脚,然后根据用户的应用习惯、应用环境、市场形式等外在因素采用各种不同的封装形式;同种芯片内核可以有不同的封装形式

百度经验,失效分析,39度综合整理

责任编辑:李倩

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