美国反对EUV光刻机引入中国，SK海力士CEO回应

电子发烧友网报道（文/李弯弯）据外媒报道，SK海力士希望在中国工厂无锡使用EUV光刻机，提高存储芯片的生产效率，然而该工厂升级改造计划却遇到极大阻碍，因为美国官员不允许SK海力士将ASML 的EUV光刻机引进中国大陆。

针对EUV光刻机进厂可能延期的问题，在日前的韩国半导体工业协会30周年纪念活动上，SK海力士CEO Seok-hee Lee（李锡熙）表示，正在与美方合作，进展良好，EUV光刻技术已经在韩国本土的DRAM产线上应用，中国工厂还有充足的时间供斡旋沟通。

美国为何不允许EUV光刻机进入中国

ASML的EUV光刻机对芯片工艺有着决定性的影响，小于5nm的晶圆必须用到EUV光刻机。这不是美国第一次阻止EUV光刻机进入中国，中芯国际2018年也向ASML下单了一台EUV光刻机，交货时间是2019年初，荷兰政府也发放了出口许可证。

不过美国政府极力阻止，为了限制ASML向中国公司出口EUV，对荷兰政府屡次施压。中芯国际订购的这台EUV光刻机交货日期一再延期，2019年6月美国国务卿迈克·蓬佩奥曾直接劝说荷兰首相马克·吕特停止这笔交易。最后荷兰政府不再续签 ASML的出口许可。

美国一向警惕中国的高科技发展，并多次发起对华出口限制，去年3月，美国一个国家安全委员会建议国会收紧芯片制造技术的出口，防止中国在未来几年内在半导体领域超越美国。

由谷歌前董事长埃里克·施密特领导的美国国家人工智能安全委员会，曾建议限制中国采购设备以制造先进计算芯片的能力，美国对出口到中国的设备的限制，不仅限于EUV光刻机。

从本次美国不允许SK海力士将EUV引进中国来看，不仅仅是中国企业，那些在中国生产的海外企业也同样受到采购设备的限制。

美国到底在担心什么？一位白宫高级官员声称，拜登政府仍然专注于防止中国大陆利用美国和盟国的技术来发展最先进的半导体制造，这将会助力中国大陆军事现代化。

美国半导体产业调查公司VLSIresearch的首席执行官丹·赫奇索声称，不管谁把EUV光刻机引入中国大陆，都会让中国大陆具备这种生产能力。他说，“一旦它到了中国，你不知道它之后会去哪里。”

有业内人士认为，美国禁止SK海力士将EUV光刻机引进中国，还有另外一层意思，SK在中国的工厂生产的DRAM芯片占到公司总产能的一半，如果没有办法进行工厂升级，该公司或许会考虑将工厂迁到其他不受限制的地方，这样也可以形成对中国制造的打压。

从SK 海力士首席执行官李锡熙的表述来看，虽然这可能会给该芯片制造商升级其中国工厂的计划蒙上阴影，但仍然有充足时间可以跟美国方面进行斡旋。可见SK海力士将EUV光刻机引进中国大陆，还存在比较乐观的预期。不过真实情况可能比他们预期的更困难。

SK海力士的竞争力可能受到严重影响

SK海力士于2005年在无锡开建DRAM一工厂，2017年10月二工厂项目开建，2019年4月顺利竣工并投入量产，全部投产后，无锡公司产能达到月产18万片12英寸晶圆，成为全球单体投资规模最大、月产能最大、技术最先进的10纳米级DRAM产品生产基地。

当前无论是对于SK海力士，还是对于全球电子行业来说，无锡这家工厂的重要性都尤为突出，因为SK海力士约半数DRAM芯片都在这里生产，占全球总量的15%。

为什么要采用EUV光刻机？SK海力士已经在韩国使用EUV光刻机量产基于1a纳米级工艺的8G LPDDR4移动DRAM芯片，与第三代1znm内存芯片相比，1a技术在相同的晶圆面积下，生产的芯片数量可以增加25%。可见EUV光刻机可以大幅提升效率。

一位了解SK海力士在中国大陆运营情况的消息人士透露，随着两到三年后新型芯片在SK海力士的生产中占据更大份额，该公司将需要EUV光刻机来控制其成本并加速生产。

当前三星和美光也正在采用EUV设备，所在的厂房并未面临出口限制，如果几年内SK海力士中国工厂仍未能引进EUV光刻机，该公司可能会在与三星和美光的竞争中处于不利地位。

DRAM厂市场占比排行榜（来自TrendForce集邦咨询）

从上述DRAM市占排行榜来看，当前SK海力士与三星还存在较大差距，未来要拉近与三星，必然需要提升生产效率，另外紧随其后的美光与SK海力士差距已经不是很明显，一旦SK海力士无法顺利提升生产效率，美光或许就能迎头赶上，业界甚至猜测，美国此举或许也有打压韩国存储企业，让本国企业美光追上的意图。

另外SK海力士产能受到影响，可能会影响全球DRAM供给，作为全球第二大DRAM企业，SK海力士无锡工厂生产的DRAM芯片占到全球市场的15%，如今在5G、智能化等快速发展下，未来DRAM的需求将会更大，SK海力士如果产能不能跟上，全球DRAM可能会出现供不应求的情况。一位ASML发言人称，广泛使用出口管制可能会加剧半导体供应链的问题。

小结

SK海力士计划通过EUV光刻机升级中国工厂的产能，而美国担心将这种高科技工具引进中国可能增强中国的战略性产业进行反对，虽然SK海力士还期望有谈判的余地，然而估计成功的可能性不大。如今三星、美光等也还未全面采用EUV技术，短期来看对SK海力士的竞争力影响不大，长期的话影响预计会逐渐显现，不过或许SK海力士还有其他举措。