EUV光刻机出货过半 国产半导体设备发展提速

电子发烧友网报道（文/李弯弯）半导体设备厂商目前的销售情况如何？今年以来，芯片产能不足之下全球各地加快建厂扩产，这带动半导体设备厂商销售持续高增长。近日ASML公布第三季度财报，显示销售业绩仍然增幅很大，国内的半导体设备龙头北方华创的业绩预告也显示，净利润预计有一到两倍的增长。

不过从目前国外内半导体设备整体情况来看，半导体设备的销售和出货虽然还在增长，不过对比之前，增速开始放缓，有机构表示，半导体设备已经终止连续环比增长的态势。

ASML EUV光刻机业务营收创下新纪录

全球领先的光刻机厂商ASML日前公布最新季度业绩，财报显示，在GAAP会计准则下，ASML第三季度净销售额52.41亿欧元（约390亿元人民币），同比增长32.4%，净利润为17.40亿欧元（约130亿元人民币），同比增长63.8%。其中毛利率也有所上涨，为51.7%，上一季度毛利率为50.9%。

ASMLEUV光刻机业务出货量和营收创下新纪录，根据财报信息，今年第三季度 EUV的销售占到公司总销售额的54%，而第二季度这个占比是45%，主要是用在逻辑芯片和存储芯片的制造商，从地域来看，ASMLEUV光刻机45%出货到中国台湾地区，33%出货到韩国，出货到美国和中国大陆的占比分别为10%。

ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink表示，公司第三季度新增订单金额达到62亿欧元（约462亿元人民币），其中29亿欧元来自EUV订单。客户对光刻系统的需求仍在高点，主要原因是数字化转型和芯片短缺带动市场对内存和逻辑芯片的需求。预计今年第四季度将实现营收约为49亿到52亿欧元。

北方华创Q3净利润同比增长100-180%

日前国内的半导体设备龙头北方华创也发布业绩预告，根据公告，北方华创第三季度预计实现营业收入21.56-65.94亿元，同比增长30-80%，归属上市公司净利润2.85-3.99亿元，同比增长100-180%。

北方华创业绩的高增长还是受益于下游市场需求的提升，同时北方华创各种新设备导入市场的节奏正在加快，包括刻蚀机、PVD、CVD、清洗机等，在客户端的渗透率逐步提高，公司的半导体设备已经在半导体产业主流生产线中实现批量销售。

至纯科技获大基金二期投资 国产清洗设备发展提速

受益于当前芯片产能不足，全球各地大力建厂扩产，以及国产替代的推动，国内半导体设备逐渐有了更多应用的机会和空间，其中清洗设备方面的表现就很明显。

清洗设备是半导体产业链制造的重要环节，根据台湾工研院数据，2020年半导体清洗设备市场空间49亿美元，2025年将达67亿美元。目前清洗设备的国产化率约为20%，主要厂商有北方华创、盛美半导体、至纯科技、芯源微等。

盛美半导体是国内领先的清洗设备厂商，日前宣布湿法设备2000腔顺利交付，目前出货量已累计超过300台，产品包括单片SAPS兆声波清洗设备、单片TEBO兆声波清洗设备、单片背面清洗设备、单片刷洗设备、槽式清洗设备等，公司产品组合覆盖80%以上清洗设备市场，2020年国内市场份额达到23%。

至纯科技日前发布公告称，旗下子公司至微科技进行增资扩股，引入包括大基金二期、混改基金等在内的多名重要股东，至微科技主要业务是半导体湿法清洗设备，公司自成立以来，已累计获得湿法设备订单超过160台。

据行业人士分析，国家队基金增持清洗设备企业，一是有利于至微科技与国内头部半导体公司加强合作，促进其未来发展，二是透露出了市场对公司及该领域未来看好，同时有利于清洗设备未来的发展。

北美、日本半导体设备出货放缓 国内市场增长机会仍在

半导体设备经历了过去一段时间的快速成长，近来北美和日本等地区的出货快开始放缓。北美半导体设备8月份的出货量同比增幅明显，达到37.56%，不过环比下降了5.38%，终止了出货额连续8个月的环比增长；日本半导体设备出货额同比增长30.42%，环比增长幅度较小，为2.07%。

不过当前和未来国内规划的扩产规模较大，而且厂商也在加大对成熟制程的投入，有机构测算，国内晶圆厂未来可释放的产能，包括8寸线产能约27万片，12寸线产能约 61.5-62.5万片，其中12寸线中确定为成熟制程的产品约为33.5万片，因此未来三年国产半导体设备有明显的增长空间。

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编辑：jq