长江存储开启新一轮招标 设备国产化趋势将加速

据中国国际招标网日前披露，长江存储发布新一轮（第41批）国际招标公告，包括封装级高并行度芯片分选机、高速芯片测试机等产品。

另外，由长江存储实施的国家存储器基地项目二期项目近日在武汉东湖高新区开工，规划产能20万片/月，达产后与一期项目合计月产能将达30万片。

华创证券指出，长江存储累计已采购1362台工艺设备，正在招标430台工艺设备，总采购1792台工艺设备。近期还有200多台设备采购计划，主要包括CVD、刻蚀、量测、去胶设备等。此外，长江存储二期项目的开工，也将给国产设备带来市场机遇。

事实上，近年来，国产量测设备厂商已经陆续获得长江存储订单，例如，仅2020年以来，已有中微半导体和精测电子分别中标长江存储9台刻蚀设备订单和3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。而在此之前，上海睿励，中科飞测等国产量测设备厂商也已经陆续获得了长江存储订单。

半导体设备行业一直以来都是高技术壁垒的行业，需要长时间持续地投入研究，才能实现技术突破。国内半导体设备行业起步晚于欧美和日本，整体技术水平目前还远落后于国际先进水平。不过令人欣慰的是，随着国内半导体行业的快速发展，国家层面的高度重视，国内半导体设备在部分领域实现了突破。

各类制程设备的国产化率如下：

(1) 去胶设备：国产化率最高的是去胶设备，主要是屹唐半导体实现了去胶设备国产化；

(2) 清洗设备：国产化率约为20%左右，本土品牌主要是盛美半导体、北方华创；

(3) 刻蚀设备：国产化率约为20%左右，本土品牌包括中微半导体、北方华创、屹唐半导体；

(4) 热处理设备：国产化率约为20%左右，本土品牌包括北方华创、屹唐半导体；

(5) PVD设备：国产化率约为10%左右，本土品牌包括北方华创；

(6) CMP设备：国产化率约为10%左右，本土品牌包括华海清科；

(7) CVD设备：有零的突破，但总体国产化率不高于5%，本体品牌是沈阳拓荆；

(8) 量测设备：国产化率2%左右，本土品牌包括上海睿励、中科飞测、上海精测半导体；

(9) 离子注入机：国产化有零的突破，本土品牌包括中科信、凯世通等；

(10) 涂胶显影设备：国产化有零的突破，本土品牌包括沈阳芯源；

(11) 光刻设备：预计国产化将有零的突破，本土品牌是上海微电子。