压电陶瓷驱动和柔性铰链机构传动的应用实例分析

压电陶瓷具有高可靠性、高分辨率、高刚度、大出力等特点，是精密运动与定位的理想驱动元件。柔性铰链机械结构具有运动平稳、无摩擦、无空回、高精度等特点，适合与压电陶瓷组成分辨率高，频响高的精度运动与定位系统。

同时柔性铰链机构还可以提供适当的预紧，避免压电陶瓷承受拉力，提高系统的使用寿命。以下是一些压电陶瓷驱动、柔性铰链机构传动相结合的典型例子。

高精密压电纳米定位台

压电纳米定位台采用压电陶瓷驱动、柔性铰链机构进行位移放大的解决方案，可实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴的精密运动，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点。位移行程最大可达1.1mm，分辨率可达纳米级且具有不错的可靠性。适用于干涉、显微、精密加工等领域。

高精密机械加工

由压电陶瓷元件、柔性铰链机构和闭环传感器组成的压电微定位快刀伺服系统，利用其自身所具有的高刚度、高精度等特点，驱动刀具在运动方向快速微进给，实现工件或结构的精密加工。压电快速刀具定位台行程可达118μm，分辨率达纳米级。

高精密压电线夹

芯明天公司根据全自动引线键合机的要求，设计一款压电引线线夹，通过柔性铰链机构将压电陶瓷的位移放大，使其能够夹持金线进行自由穿行移动。该线夹位移可达70μm，响应时间在毫秒量级。

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