上海华虹集团透露SRAM良率已达25% 在技术研发上获得多项重要突破

在先进半导体工艺上，国内最大的晶圆代工厂中芯国际SMIC的14nm工艺已经量产，改进版的 12nm工艺也在导入中，取得了优秀的成绩。考虑到国内半导体工艺上的落后，光指望中芯国际一家也是不行的，上海华虹集团日前透露其14nm FinFET工艺也全线贯通，SRAM良率已达25%。

1月12日下午，，华虹集团在无锡新落成的华虹七厂研发大楼召开“开放、创新、合作—华虹集团2020年全球供应商迎新座谈会”，邀请了国内30多家、国外50多家供应商合作伙伴出席，华虹集团高管分享了该公司的最新进展。

华虹方面表示，2019年是华虹集团产能扩张、工艺提升的关键年，该公司多个项目都取得了重要进展：

·作为华虹集团在上海市域以外的第一个制造项目，华虹七厂于9月17日实现顺利投产，首期1万片产能的机台顺利串线并完成一系列工艺验证，进入正常生产阶段，创造了业界同类产线建成投产的最快记录，成为中国大陆第一条12英寸特色工艺产线，也是中国大陆第一条12英寸功率器件代工产线；

·华虹六厂自2018年10月18日投产以来，产能爬坡顺利，目前已经完成月产2万片的装机产能；

·华虹五厂实现连续两年盈利，年度出货量、单日作业量屡创新高；

·华虹宏力8英寸特色工艺制造平台（华虹一、二、三厂）在产能规模、营运效率方面持续保持领先，并连续9年实现盈利。

华虹集团成为业界唯一一家连续两年建设并投产运营两条12英寸生产线的企业

除了产能建设之外，华虹集团在技术研发上也获得了多项重要突破，新研发的65/55纳米节点得射频和BCD特色工艺平台，处于国际先进水平；28纳米工艺（28LP/28HK/28HKC+）均实现量产；22纳米研发快速推进；14纳米研发或重大进展；更先进技术节点的先导工艺研发快速部署。

尤其是最新一代的工艺，华虹集团总工程师赵宇航指出其14nm FinFET工艺已经全线贯通，SRAM良率25%，2020年将快速推进。

这也是华虹集团首次对外公布14nm工艺的具体良率情况，SRAM芯片的25%良率对生产来说肯定不行，但是对研发、实验来说已经是一大进步。

在总体进度上，华虹的14nm工艺肯定是不如中芯国际的14nm快的，后者的14nm工艺去年良率就达到了95%，并已经开始进入量产阶段，比国家预定目标提前一年，现在正在产能提升及新工艺导入阶段。

责任编辑：wv