我国MEMS传感器产业区域生态正在形成，三线城市日益坚挺

我国发展智能传感器已上升为国家战略，近年来出台了一系列相关政策及行动计划、指南，从关键技术研发、产业应用等多角度支持MEMS传感器产业的发展。再加上消费电子、汽车电子等下游行业的快速发展，中国MEMS传感器市场需求旺盛，近年来持续保持快速增长。根据赛迪顾问《2019年中国MEMS传感器潜力市场暨细分领域本土优秀企业》白皮书，2018年我国MEMS整体规模达到504.3亿元，预计到2021年将达到851.1亿元。

从区域分布来看，MEMS传感器产业资源主要集中在长三角地区，企业数量占比超过50%，其中江苏省占比接近30%。这主要得益于长三角具有良好的集成电路产业基础，硅基MEMS研发及代工生产线资源较多，产业链完整，涵盖设计、代工和封测的重点企业。

毗邻江苏省的安徽，这几年也开始向MEMS传感器产业发力。自2017年开始，安徽省蚌埠市开始举办一年一度的中国MEMS传感器发展大会，日前召开的“2019第三届中国MEMS智能传感器产业发展大会”，由蚌埠市人民政府、中国兵器科学研究院、中国兵器技术研究院指导和支持，由华东光电集成器件研究所、蚌埠市发展和改革委、蚌埠经济开发区管委会主办，以“从‘芯’出发，‘智’慧无限“为主题，国家行业主管部门、行业组织、高校及科研院所、国内外物联网厂商、产业链上下游企业、投资机构等共同出席了会议。

国家集成电路产业投资基金股份有限公司总裁丁文武、兵器集团公司总工程师邹汝平、华东光电集成器件研究所所长及安徽省政府、省发改委、省工信厅、省科协及蚌埠市政府、蚌埠市高新区、经开区相关领导出席了大会开幕式。

蚌埠正在把发展智能传感器作为重要的产业选择，主动谋划、加紧布局、密集发力，努力打造开放协同的产业生态，加快建设在安徽乃至全国具有重要影响力的MEMS产业。

蚌埠这座三线小城——缘何崛起MEMS传感器产业？

蚌埠，安徽省第一个设市的地级市，别称珠城。根据第一财经·新一线城市研究所发布的《2019城市商业魅力排行榜》，蚌埠位列我国70个三线城市之一。就是这座美丽的小城，当前正在向建设“创新之城、材料之都”的目标大步迈进。

作为中国三大传感器研发制造基地之一，蚌埠拥有中国兵器工业集团214所、凯盛科技等一批智能传感器研发设计制造企业，建设了MEMS联合工程实验室等一批省级以上重大研发工程。同时，形成了智能传感器研发设计、工艺加工、封装测试和应用的完整产业体系，成为安徽唯一同时拥有集成电路及MEMS生产线的城市。

蚌埠发展MEMS传感器产业要追溯到中国兵器工业第214研究所，即华东光电集成器件研究所。这是一家服务国家国防安全、提供军事装备的国有企业。214所是中国兵器工业集团唯一一个微电子研究所，八大科研重点包括：半导体集成特种惯性工艺及微光机电一体化技术； 弹载硅基MEMS惯性器件与组件技术；弹载信号处理SoC/半导体集成ASIC技术；LTCC工艺及SIP技术；基于LTCC工艺微波毫米波集成器件与组件技术；弹载功率模块、混合集成ASIC技术；专用集成电路耐恶劣环境应力技术；专用集成电路可靠性试验评价技术。

在集成电路产业方面，214所拥有国家908工程设计中心，以及国内首条6英寸0.5微米集成电路生产线。在MEMS芯片制造领域，北方电子研究院6英寸MEMS生产线已经建成投产。

面向在民用市场的巨大机遇，214所以“二次创业，跨越发展”为目标，形成了四大民品支柱，第一就是围绕MEMS智能传感器系统，第二是片式器件与组建，第三是智能车辆仪表，第四是视光学智能设备。

除了依托于214所的技术基础，蚌埠发展MEMS传感器产业还有哪些优势？

首先是相关政策支持。围绕硅基新材料产业基地的发展，蚌埠先后出台了《关于创新驱动发展战略加快“两个中心”建设的意见》、《蚌埠推进人才特区建设若干政策实施细则》、《进一步创优最佳营商环境的实施意见》，优惠政策覆盖项目投资补贴、产业园投资补贴、科技创新补贴、人才激励等。

其次是区位交通优势。蚌埠通南贯北、承东启西。京台、宁洛两条高速公路、京沪、京福两条高速铁路在蚌埠交汇，在蚌埠乘高铁可直达全国153个城市，在全国296个开通高铁的城市中列第14位。蚌埠是二类水运口岸，蚌西欧班列今年正式开通，可以直达中亚和欧洲十二个国家和地区。

第三是产业基础。蚌埠目前已经形成以新材料、新能源、电子信息、高端装备制造、生物医药等优势产业为主导，门类较为齐全的现代工业体系，并在ITO导电膜玻璃、电子孵化装备等领域创下多个全球第一的记录。

发展MEMS传感器产业，资本不可缺席

我国发展MEMS传感器产业起步相对较晚，国内企业规模普遍较小，人才缺失较为严重，制造代工工艺方面经验相对不足，一定程度上制约了产业的发展。MEMS代工厂如：华润上华、中芯国际、上海先进等，硬件条件虽在接近国际水平，但开发能力方面仍需大力提升，在工艺技术储备和大规模市场验证反馈经验都需要持续储备。这些都是不容忽视的客观现实。

从市场来看，我国拥有全球规模最大的集成电路市场，加之万物互联需求的催化，国内市场对加速度计、高精度压力传感器、硅麦克风、陀螺仪、射频仪器、气体传感器、电子罗盘等MEMS器件的需求日益迫切。
在需求旺盛，技术储备相对较弱的情况下，如何加速产业发展、推动更多创新落地成为当前的关键。这其中，资本的支持必不可少，企业做大做强也离不开融资的需求。但是，今年是资本寒冬，VC募资额已经断崖式下降80%，明后年的寒冬可能会更加冰天雪地。在这种情况下，资本如何看待MEMS传感器产业？又将从哪些方向进行布局？

临芯投资董事、总经理刘光军表示，MEMS传感器产业需要长期的积累，当前除了立足于自主研发，还需要有资本的并购、产业的整合。另外，MEMS设计制造公司合作开发的方式将成为主流，因为一款传感器基本对应着一套工艺，在这种情况下，设计和制造间的密切程度远远高于以往其他企业。新兴MEMS传感器将成为资本关注的焦点，产品总体向微型化、集成化、智能化方向发展。

中欧资本董事长张俊表示，他们希望扶持一批国内传感器企业成长起来，布局芯片赛道，补足中国“芯”这块短板。其投资逻辑不仅仅是带来资金支持，更多是带来产业链上下游的资源。目前中欧资本主要在5G、人工智能、物联网、新型制造和集成电路五大领域展开布局，将注重对被投企业在更多细分领域、在产业整体进行赋能，实现产融结合。他强调，新能源汽车领域“热钱”太多，泡沫较大，随着泡沫的破灭、汽车销量的下滑等等，可能对汽车传感器造成一定的影响（例如MEMS胎压传感器等），一些效应会逐渐显现。在这种情况下，他呼吁国内的企业要真正静下心来，用“工匠精神”扎扎实实做事。

摩尔基金总经理王军认为，MEMS传感器产业特点包括：细分领域多、强烈依赖制造工艺、头部企业获取高额利润、细分市场垄断、缺乏规模化企业等。与集成电路一样，存在小而散、散而弱、弱而不强的局面，如何加强相互整合、增强联动是重点。站在投资角度，他们更倾向于投资成熟企业，帮助他们进行下一步国内外的资源整合。未来MEMS传感器产业将会出现大者恒大、强者恒强、弱者灭亡的局面，力量太过分散不利于在国际市场立足，因此要帮助一些有实力的企业进一步做大做强。另外技术层面来看，多传感器集成的趋势越来越明显，向高端发展是未来的必然方向。

214所副书记高军表示，MEMS传感器产业链只有让资本进入，合理地利用资本，才能扩大优势，做大做强，走上良性的发展轨迹。214所希望能通过资本扩大市场战略合作范围，加强和上下游的战略合作，成为国内乃至全球细分市场的领头羊。