关于华虹半导体力推95纳米eNVM工艺平台的介绍和研究

全球领先的200mm纯晶圆代工厂——华虹半导体有限公司（“华虹半导体”或“公司”，连同其附属公司，统称“集团”，股份代号：1347.HK）今天宣布，公司针对8位微控制器（Microcontroller Unit, MCU）市场，最新推出95纳米单绝缘栅非易失性嵌入式存储器（95纳米5V SG eNVM）工艺平台。在保证产品稳定性能的同时，95纳米5V SG eNVM工艺平台以其低功耗、低成本的优势，广受客户青睐。该平台现已成功量产，产品性能优异。

万物互联时代，8位MCU不断推陈出新，出货量也逐步攀升，在工业控制、物联网、汽车电子、消费类电子等诸多领域均有广泛应用。根据市调机构IHS预测，8位MCU市场持续增长，到2020年，全球8位MCU的市场规模将达61亿美元，需求量将达到近170亿颗，市场需求强劲。华虹半导体顺势推出95纳米5V SG eNVM工艺平台，为客户提供高性价比的制造工艺，助力客户在庞大的8位MCU应用市场提高竞争力。

华虹半导体的95纳米5V SG eNVM工艺通过优化单元的结构和IP的设计，令其具有较小的面积和较低的读取功耗（50μA/MHz），器件静态功耗Ioff也只有0.5pA。CPU内核的速度达到50MHz，完全满足了8位MCU产品应用的需求。在设计上，该工艺还支持整合电可擦可编程只读存储器（EEPROM）和闪存（Flash）的单IP设计，把EEPROM的高性能和Flash的面积优势体现在一颗IP上，相比于两个IP的设计，大大节约了面积成本。同时，采用具有竞争力的光罩层数，三层金属最少光罩层数只有19层。此外，在模拟面积比较大的芯片应用领域，华虹半导体的95纳米单5V电压工艺亦具有较大的成本优势。该平台在保持良好性能的同时兼备高可靠性，数据保存时间超过30年，重复擦写次数超过50万次。

华虹半导体执行副总裁孔蔚然博士表示：“华虹半导体力争保持在eNVM技术领域的全球竞争优势，近年来在智能卡、MCU市场取得很好的业绩。此次推出的95纳米5V SG eNVM技术，安全可靠兼顾成本优势，使其成为制胜8位MCU市场的首选制造工艺。”他进一步指出，“华虹半导体同时拥有多种MCU所需要的细分化eFlash/eEEPROM工艺平台，可将我们领先的嵌入式存储技术与CMOS射频集成及/或高压LDMOS技术结合，大大增加可用MCU解决方案的数量。华虹半导体将顺应市场需求，持续进行技术创新，致力于为客户提供更低功耗、更高性能、更安全可靠的高性价比MCU解决方案。”