关于MCU工艺的介绍和分析

《中国电子报》主办的第十届“中国MCU 优秀企业评选”结果发布，全球领先的特色工艺纯晶圆代工企业──华虹半导体有限公司（股份代号：1347.HK）之全资子公司上海华虹宏力半导体制造有限公司（“华虹宏力”）凭借“95纳米单绝缘栅非易失性嵌入式存储器工艺平台（95纳米5V SG eNVM）” 蝉联“优秀MCU 制造工艺平台”奖，凸显了华虹宏力在微控制器（MCU）市场的卓越竞争力。

万物互联的时代，8位MCU不断推陈出新，在工业控制、物联网、汽车电子、消费类电子等诸多领域均得到了广泛运用。根据市调机构IHS预测，8位MCU市场持续增长，到2020年，全球8位MCU的市场规模将达67亿美元，需求量将达到近170亿颗。华虹宏力同时拥有多种MCU所需要的细分化闪存（Flash）/电可擦可编程只读存储器（EEPROM）工艺平台，可实现高、中、低端MCU芯片产品应用全覆盖。

此次获奖的95纳米5V SG eNVM工艺凭借其低功耗、高性价比的优势，广受客户青睐。该平台通过优化基本存储单元的结构和IP的设计，具有较小的面积和较低的读取功耗（40μA/MHz），器件静态功耗Ioff也只有0.5pA，CPU内核速度可达50MHz，完全满足了8位MCU产品应用的需求。在设计上，该工艺还支持整合EEPROM和Flash的单一IP设计，把EEPROM的高性能和Flash的面积优势结合在一颗IP上，相比于两个IP的设计，大大节约了面积成本；同时，采用具有竞争力的光罩层数，三层金属最少光罩层数只有19层。不仅如此，该平台在保证成本优势的同时也兼备高可靠性，数据保存时间超过30年，重复擦写次数超过50万次。

华虹宏力执行副总裁孔蔚然博士表示：“95纳米5V SG eNVM工艺依托其高可靠性和成本优势成为华虹宏力制胜8位MCU市场的利器，此次获奖是对我们MCU工艺平台技术的极大认可。目前，华虹无锡项目正在建设中，该12英寸生产线可支持嵌入式eNVM技术进一步向纵深化拓展，我们将持续创新优化工艺平台，以期在MCU市场的深远发展。”