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近年来，MEMS 惯性器件取得了飞速发展，基于 MEMS 惯性器件的惯导系统也逐渐成熟，应用范围越来越广，特别是在航天和军事上具有巨大的发展潜力。本文阐述了 MEMS 惯性器件特点、发展过程及在航天和军事领域的应用现状，最后对 MEMS 惯性器件的未来发展趋势作了展望。
微电子机械系统［1］（Micro-Electro-Mechanica Systems），简称 MEMS，也可称为微机电系统，是指可以批量制造的，一种将微型结构、微型传感器、微型执行器设计为一体，同时将信号处理电路、接口以及通讯和电源也置于其内部的微型器件或系统。采用微机电系统技术的惯性器件由于特性优异，已在汽车、航空航天、制导炸弹等各大领域有了广泛的应用。随着技术不断进步，MEMS 惯性器件性能必将进一步得到提升，其应用范围和应用幅度必将继续扩大。本文阐述了 MEMS 惯性器件特点、发展过程及应用现状，并对MEMS 惯性器件未来发展趋势进行了展望。
2 MEMS 惯性器件技术特点
2.1 MEMS 惯性器件性能特点
通常，MEMS 惯性器件包括微加速度计、微型陀螺和微惯性测量组合（MIMU）［2］。基于 MEMS 的惯性器件一般采用硅基材料，同时在半导体集成电路制造工艺的基础上制造而成。它不但具有尺寸小、质量轻、功耗低的特点，而且其低成本、高可靠性、抗振动冲击能力强等优势更是其他惯性器件无法比拟。特别是其特征尺寸甚至到了微米量级，这使得它们可以实现传统传感器所不能完成的功能。
2.2 工作原理
MEMS 惯性器件的工作原理类似于传统的惯性器件，即牛顿定律，通过测量载体的质心运动（加速度）和姿态运动（角速度），从而可以实现对载体的控制和导航。
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